Xie_第三章(2)_电阻式传感器.ppt

由交流电路分析可得 要满足电桥平衡条件, 即Uo=0, 则有 · Z1 Z4 = Z2 Z3 其实部、 虚部分别相等, 并整理可得: 平衡条件 电阻平衡条件 电容平衡条件 交流电桥的平衡条件：即要满足电阻平衡条件，还要满足电容平衡条件。 几何尺寸：敏感栅基长、基宽、应变片的基底长和基底宽； 初始电阻：未粘贴前，在室温下测得的电阻 (常用120Ω)； 绝缘电阻：敏感栅与基底间的电阻值； 允许工作电流：最大的工作电流。 应变片的主要参数 压阻式传感器：利用硅的压阻效应和微电子技术制成。 特点：灵敏度高、动态响应好、精度高、易于微型化和集成化。 半导体应变片制成的粘贴型压阻传感器 力敏电阻与硅膜片一体化扩散型压阻传感器 4.压阻式传感器 压阻效应：固体受到作用力后，电阻率发生变化的现象。 所有材料在某种程度都呈现压阻效应，在半导体材料中，这种效应特别显著。 金属应变片发生应变后，使导体的几何尺寸发生改变?阻值变化 半导体材料的电阻大小取决于有限数目的载流子?空穴和电子的迁移。 加在一定晶向上的外界应力，引起半导体能带的变化，使载流子的迁移率产生较大的变化，导致半导体电阻率产生相应的变化。 温度性能 压阻器件的阻值和灵敏度系数受温度影响较大，会产生零位温度漂移和灵敏度温度漂移。 对于零位温度漂移一般采用桥臂上串、并联电阻的方法进行补偿。 线性度 对于扩散型压阻器件，由于表面参杂