二晶体缺陷检测工作.pptVIP

分辨率 放大倍数 0.1－0.2nm 106数量级以上。 透射电镜实物图片 2、扫描电子显微镜(SEM) 光学显微镜与电子显微镜的性能比较 显微镜的分辨率：d＝0.61×λ/（nsinα） 3、扫描隧道电子显微镜(STM) 扫描隧道显微镜(STM) 是一种利用量子理论中的隧道效应探测物质表面结构的仪器。 扫描隧道显微镜可以定位单个原子，使人类第一次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物化性质，在表面科学、材料科学、生命科学等领域的研究中有着重大的意义和广泛的应用前景，被国际科学界公认为20世纪80年代世界十大科技成就之一。它于1981年由IBM苏黎世实验室的两位研究者发明，两位发明者因此荣获了1986年诺贝尔物理学奖。　　 此外，在低温下（4K）可以利用探针尖端精确操纵原子，可以在各种样品表面上进行直接刻写、光刻以及诱导淀积和刻蚀等，因此它是纳米科技重要的测量工具和加工工具。 用STM移动氙原子排出的“IBM”图案 用扫描隧道显微镜拍摄到的电子图像 STM主体的主要部分是极细的探针针尖。工作时，探针针尖和被研究的样品的表面是两个电极，使样品表面与探针针尖非常接近，并给两个电极加上一定的电压，就会形成隧道电流，二者的间距不同，隧道电流大小也不同。通过电子反馈电路控制隧道电流大小，探针