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8等离子体化学气相沉积资料.pptxVIP

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  • 2019-12-28 发布于上海
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8等离子体化学气相沉积资料.pptx

    8 等离子体化学气相沉积（淀积）（PCVD）;主要内容;1、CVD技术基础;CVD的分类;常规CVD优缺点;;;2、PCVD技术基本特征;;PCVD和常压CVD温度比较;3、PCVD基本装置 ;直流辉光PCVD装置;射频放电PCVD、微波放电PCVD装置示意图;;感应耦合型PCVD（最早应用的）;平行板电容耦合型PCVD装置;;;PCVD装置中需要考虑的注意事项;典型实用PCVD装置;;;;4、PCVD膜的基本评价;;5、PCVD技术应用;;;5.2 非晶硅及太阳能电池;;;5.3 PCVD低压合成金刚石;;;小结

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