控制软件操作(扩散炉带机械手).pdfVIP

DS-300A 扩散炉控制软件操作 一、系统设置 1. 系统设置 画面 2. 各部分功能 2.01 温控方式设置 2.01.01 根据温控表类型，若是山武的温控表， 则选择 “SDC 串级控制”；若是 RKC HA900 的温控表， 则选择“ HA900 串级控制”。安装机器时设定 2.01.02 若勾选【启用工艺运行升降温斜率跟 踪】，则在勾选此项之后的时间内， 可生成温度随时间 向设定温度变化的曲线 2.01.03 因扩散炉正常使用时所使用的温度在 o 800~1050 C，则在“最大温度设置”中设置 1100。安装机器时设定 2.02 流量设置 1 2.02.01 【大氮流量计初始化】 将大氮流量计信号初始化。 在和流量计连 接均正常的时候，点击此按钮， 则无论是哪个流量计， 均将此流量计的通讯地址 初始化为大氮流量计。 流量计通讯紊乱时使用 2.02.02 【小氮流量计初始化】