固体成像器件.pptxVIP

CCD不需要在真空玻璃壳内用靶来完成光学图像的转换，再用电子束按顺序去扫描靶的扫描面获得视频信号；它本身就能完成光学图像转换、信息存贮和按顺序输出（称自扫描）视频信号。;一 电荷耦合器件; 当栅极上加上一定电压UG后,在SiO2:P-Si 界面形成符号相反的电荷,电荷的分布随外界电压的大小和方向的变化而变化,接下来我们讨论三种情况.;1). 当UG0，为多数载流子的积累状态;储存信号电荷的电势分布状态;3).当 UGUth0时,为反型状态;注意2：深耗尽时金属栅极上的正电荷全部由耗??区中的受主离子来平衡，因此耗尽区深度最宽；此时若注入电子，则耗尽区将变窄，表面势将降低，势阱变浅，绝缘层上的压降将增加；; 考察两个间隔较大的MOS电容器,在两个金属栅极之间没有被金属覆盖那部分的氧化物下的表面势?; 对于MOS器件，当栅极加上正电压时，接近半导体表面的空穴被排斥，电子增多，在表面下一定范围内只留下受主离子，形成耗尽区。; 当t=t2时,①电极和②电极均加有+10V电压,且两电极靠得很近，这样①电极和②电极下面所形成的势阱就连通,①电极下的部分电荷就流入②电极下的势阱中。;电荷包转移驱动脉冲; 电注入由一个输入二极管和一个或几个输入栅构成,它可以将信号电压转换为势阱中等效的电荷包.; 当t=t3时， ID电位变高,处于强反偏状态，把IG和Φl下的多余电荷抽走，直到IG和Φl下的电位势相等为止,因此注入的电荷量取决于VΦ和VIG相应界面电位势之差:; 过程1：摄像时光照射到光敏面上，产生电子-空穴对，多子进入衬底，通过地消失;少子进入深势阱中成为信号电荷； ; 信号转移部分由一串紧密排列的MOS电容器构成。根据电荷总是要向最小位能方向移动的原理工作的，信号电荷转移时，只要转移前方电极上的电压高，电极下的势阱深，电荷就会不断的向前运动。; CCD输出部分由OD、OG和输出耦合电路组成；作用是把最后一个转移栅势阱中的信号电荷转换为电流或者电压；主要有电流输出和电压输出（浮置扩散放大器（FDA）输出和浮置栅放大器（FGA）输出）; ●电荷包存贮在离半导体表面一定深度的体内，并在半导体内沿一定方向传输;;功能：都能把二维光学图像信号转为一维电视信号; 所以一般在大于256像素以上的线阵CCD摄像器件中，均采用双排传输结构。 ; 光敏区与暂存区CCD的列数、位数均相同，不同之处是光敏区面积略大于暂存区的面积。读出寄存器的每一个转移单元与垂直列电荷耦合沟道一一对应。 ; ;三 CCD摄像机分类; 采用图像增强的CCD具有CCD优点，又能在夜天光下工作，有人预言微光CCD将取代以往的硅增强靶摄像管而成为微光电视系统的主要器件。 ; 第1级采用直径为18mmGaAs光电阴极，其灵敏度：900μA/lm，光谱响应范围：0.6~0.9μm，极限分辨率：36线对/毫米。; 该装置是将CCD作为像增强器的阳极直接放置到真空(1.33~13.3Pa)管的成像位置，光电阴极为S-20 。; 近几年来，微光和x射线CCD都取得了很大进展，由于紫外辐射与半导体材料之间相互作用中的许多问题没得到认真解决，如正面CCD较厚的栅氧化层(50~120nm)强烈地吸收紫外辐射，使直接探测效率极低，因此用于紫外辐射波段的CCD进展缓慢。; 提高探测效率方法：采用减薄背照CCD来探测紫外光。; 电荷转移效率是表征CCD器件性能好坏的一个重要参数。设原有的信号电荷为 ，转移到下一个电极下的信号电荷为 ，其比值 ; 正面照射时，由于CCD的正面布置着很多电极，光线被电极多次反射和散射，一方面使响应率减低，另一方面多次反射产生的干涉效应使光谱响应曲线出现起伏，图中曲线1所示。;A/D转换过程中，当采样频率大于信号中最高频率的2倍时，采样之后的数字信号完整地保留了原始信号中的信息 （实际用5-10倍）; 热噪声是由于固体中载流子的无规则运动引起的,这里指的是信号电荷注人及输出时引起的噪声,它相当于电阻热噪声和电容的总宽带噪声之和。; TCD1251UD：一种高灵敏度、低暗电流、2700像元的线阵CCD图象传感器。; 自扫描光电二极管阵列（SSPD）：在器件的内部还集成了数字移位寄存器等电路，工作在电荷存贮方式。;2.光电二极管阵列的工作原理 ;（2）电荷存贮工作方式;(b) 曝光过程;Cd上补充的电荷等于曝光过程中Cd上所释放的电荷;; 用集成技术把N个完全相同的光电二极管等间距地排列成一条直线，故称为线阵。 ; 水平扫描电路: 输出扫