太阳能多晶硅铸锭用熔融石英坩埚氮化硅涂层的制备.docVIP

2010年2月 第31卷第2期 襄樊学院学报 Journal ofXiangfan University Feb.,2010、,013l No.2 太阳能多晶硅铸锭用熔融石英坩埚氮化硅涂层的制备 朱录涛 (襄樊学院建筑工程学院,湖北襄樊441053 摘要:熔融石英坩埚是生产太阳能多晶硅铸锭的必要容器,为脱模方便,需在其内表面喷涂一 层氮化硅.采用高纯氮化硅粉在国产石英坩埚上喷涂,研究喷涂氮化硅浆液时石英基底温度和涂膜 厚度对石英坩埚氮化硅涂层结合强度的影响.结果表明:采用高纯氮化硅粉喷涂石英坩蜗基底,温 度应在400CvX下且喷涂涂层厚度不宜超过80um. 关键词:太阳能多晶硅;石英坩埚;氮化硅;结合强度;划格试验法 中图分类号:TFl2文献标志码:A 文章编号:1009-2854(201002.0079.03 在传统能源濒临枯竭,油、煤和天然气价格节节攀升的紧迫形势下,新能源之一的太阳能倍受世界各 国重视,作为太阳能电池最主要的原材料多晶硅需求量也在激剧增长.在多晶硅铸锭过程中,为了防止熔 融硅与石英陶瓷坩埚反应并容易脱模分离,需要在坩埚内表面进行涂层.涂层要求高纯,不与两者反应, 并有适中的结合强度. 氮化硅具有很高的化学稳定性,不与熔融si和石英发生反应,高纯度的氮化硅也比较容易制备.因此 氮化硅成为石英陶瓷坩埚的首先涂层材料,已在多晶硅铸锭生产中成功应用llJ. 目前生产中