固体物理实验方式.pptVIP

2、? 真空泵 真空泵浦為一有除去氣體機能的裝置。依其排除氣體的原理，可進一步區分為三大類： (i)氣體輸送係經由一階或多階的壓縮，例機械泵浦， (ii)氣體經由動量移轉而被侷限引導並輸送，例擴散泵浦，渦輪分子泵浦等及 (iii)氣體被束縛在大的低溫表面上，隨後並可經由加熱而釋出，例吸附泵浦等。 真空泵浦依其正常操作的壓力範圍又可區分為 (i)低真空泵浦(fore pumps，roughing pumps)，運作於黏滯流範圍。 (ii)高真空泵浦(high vaccum pumps)，運作於分子流範圍。 （1）气压范围 A. 粘性流动 气压10-4 Torr；平均自由程短；分子--分子碰撞较分子--壁碰撞的机会高，气体动量转移，净压力梯度；层状流动。 B、分子流动 气压10-4 Torr；平均自由程高；分子—壁碰撞机会较分子—分子碰撞机会多；没有气体的动量转移；几乎没有压力梯度； Kn=?/a Knudsen number ? ? = 平均自由程；a = 管子直径 Kn0.01粘性流动 0.01Kn1过渡流动(transitional flow) Kn1分子流动 肯德深數(Knudsens number) (2)??? 机械泵 1 atm - 10-3 Torr 费用低; 皮带驱动或直接由马达驱动 旋轉翼型是最常用的泵浦，由轉子(rotor)與兩滑動翼組成，滑動翼被彈簧壓著於外殼，排氣過程見圖十七，可單獨從大氣壓排氣到10-2或10-3 torr。旋轉泵浦之理論排氣速度為轉子旋轉所能排除的幾何學容積乘單位時間的旋轉數。 10-1 Torr – 10-10 Torr；昂贵的；当抽质量轻的气体分子时，效果不好； 渦輪分子泵浦構造頗似渦輪機(見圖二十八)，轉子上裝著刻有斜槽(葉片)的金屬圓盤，氣體分子衝撞高速旋轉的圓盤時，在某一定向獲得動量(見圖二十九)，而發生氣體流。此泵浦圓盤轉速很高，約24,000~60,000rpm，運作於分子流領域，因此在入口部圓盤斜槽較疏而在出口部圓盤斜槽較密，如圖三十所示 (3)??? 分子泵 (Turbomolecular pump) 擴散泵浦是一種蒸氣噴流泵浦(見圖二十四)，藉著氣體與蒸氣流碰撞的動量移轉來輸送氣體(見圖二十五)。這是高真空泵浦中最廣為使用的一種泵浦。 擴散泵浦係以高分子量的液體如水銀（汞）或矽油(Silicone oil)等在低壓力下加熱沸騰，其蒸氣呈分子流狀態，以超音速衝過噴嘴，並與氣體分子碰撞，使氣體分子得到一向下的動量分量而向下運動至前段手臂(fore arm)，蒸氣最終碰撞水冷卻之幫浦壁，並於幫浦壁上凝結而掉落至下方油槽，再經加熱器加熱沸騰而展開再一次的循迴。 (4)擴散泵浦(diffusion pump) 圖二十五　單階擴散泵浦之示意圖。空圈：蒸氣噴流分子，實圈：氣體分子。 图显示了一个没有烘烤的真空系统内气压与时间的关系。速率控制的过程决定最终可达到的真空度。在抽真空时，开始压力迅速地下降，然后下降速度变慢。 在表面脱附区域气相的主要分量可能是水；在低压区域可能是氢。 3. 获得超高真空 可由上式估計真空腔排氣初期之壓力變化值。當壓力低於10-4到10-5 torr時，影響系統排氣率的是釋氣率，而非泵浦的排氣速率。 在排氣初期， (1) removal of gas volume (2) 釋氣(out-gassing) 真空腔內可能釋氣的來源有多種，如圖五十七所示，依釋氣機構分類，可分為四類： (a)蒸發(vaporization) 　　固相的原子或分子會因熱激發而成為氣相，材料蒸氣壓是選擇真空腔內使用材料的最基本考慮因素，一般選擇蒸氣壓小的物質作為真空腔使用材料，例金屬、玻璃、陶瓷等。 (b) 熱脱附(thermal desorption) (1/t) 熱脱附是指吸附於真空腔內部壁上的氣體或蒸氣因熱刺激而釋放(thermally-stimulated release)的現象。此現象是一般真空排氣至高真空及超高真空時，最主要造成真空腔內部壓力的氣體的來源。真空腔排氣時，最麻煩的氣體就是束縛能約為1eV的氣體，因為此時氣體的停留時間與排氣及鍍膜所需花費的時間相仿。水氣的束縛能約為1eV，因此成為真空排氣及鍍膜時，最麻煩的氣體。 (c) 擴散(1/t1/2) 　　被材料捕捉於其內的分子，擴散到材料表面，並藉著退附的動作而釋出，但因擴散過程較退附過程緩慢，因此成為限制速率的過程(rate-limiting process)，並稱此種釋出氣體的動作為擴散。 (d) 滲透(permeation) 　　滲透為三階段過程： (i) 氣體吸附於真空腔外