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AFM技术应用举例 AFM 可以在大气、真空、低温和高温、不同气氛以及溶液等各种环境下工作，且不受样品导电性质的限制，因此已获得比STM更为广泛的应用，主要包括： 1.导体、半导体、绝缘体表面的高分辨成像 2.生物样品、有机膜等表面的高分辨成像 3.纳米加工与操作 4.分子间力和表面力研究 5.在线检测和质量监控 陶瓷膜表面形貌的三维图象 小结 扫描探针显微镜的基本原理：控制探针在被测样品的表面进行扫描，同时记录下扫描过程中探针尖端和样品表面的的相互作用，就能得到被检测样品表面的相关信息。利用这种方法得到被测样品表面信息的分辨率取决于控制扫描的精度和探针作用尖端的大小（即探针的尖锐度）。 3.4 扫描电子显微镜（scanning electron microscopy ） 扫描电子显微镜 （Zeiss EVO LS-15 ） 扫描电镜的工作原理：用扫描线圈使高速电子束在样品表面进行扫描，由于高能电子束与样品物质的作用，产生各种电子信息（二次电子、反射电子等），这些信息与样品表面的几何形状以及化学成分有很大的关系，通过收集并经放大送到成像系统，从而可以获得表面形貌和化学成分。 扫描电子显微镜的工作原理 扫描电镜的主要特点 放大倍率高 分辨率高 保真度好 样品制备简单 扫描电镜结果分析示例 粉体形貌观察 α—Al203团聚体(a)和团聚体内部的一次粒子结构形态(b) (a) 300×　　　　　　　　　 (b) 6000× 钛酸铋钠粉体的六面体形貌 20000× 纳米五角星 3.5 透射电子显微镜 透射电子显微镜是利用电子的波动性来观察固体材料内部的各种缺陷和直接观察原子结构的仪器。尽管复杂得多，它在原理上基本模拟了光学显微镜的光路设计，简单化的可将其看成放大倍率高得多的成像仪器。一般光学显微镜放大倍数在数十倍到数百倍，特殊可到数千倍。而透射电镜的放大倍数在数千倍至一百万倍之间，有些甚至可达数百万倍或千万倍。 工作原理：以高能电子（50～200keV）穿透样品，根据样品不同位置的电子透射强度不同或电子透过晶体样品的衍射方向不同，经过后面电磁透镜的放大后，在荧光屏上显示出图像。 TEM分辨率达0.3nm，晶格分辨率达到0.1-0.2nm。 透射电镜的成像原理与阿贝光学显微镜衍射成像原理相同， 不仅可以在物镜的像平面获得放大的电子像，还可以在物 镜的后焦面处获得晶体的电子衍射谱。 透射电镜的成像方式  透射电镜一般是多级放大，即上一透镜的像就是下一透镜成像时的物，这样保证了连续放大的最终像是一个清晰的像。总的放大倍数就是各个透镜倍率的乘积。 小结： 电子显微镜的特点： 1. 用高速电子波作为照明源（类同于光波对光学显微镜） 2. 采用电磁场（磁透镜）聚焦成像（光学显微镜用玻璃透镜） 3. 需要真空系统：保证电子运动，减少与空气分子的碰撞，一般真空度为10-4-10-2Pa 3.6 单原子操纵 STM工作时，针尖与样品之间总是存在一定的作用力。该作用力由静电力和范德华力两个部分组成。调节针尖与样品之间的位置及所加的偏压，可以改变这一作用力的大小和方向，从而达到使吸附在针尖上的原子或分子沿样品表面移动，或从样品表面“拔出”原子，再移送到所需之处。沿样品表面移动单个原子所需的力的大小远小于使原子离开样品表面所需的力，想从样品表面“拔出”原子，往往需施加一瞬间脉冲电压（1-10伏）于针尖上。 1990年美国国际商用机器公司伊格勒和施罗德在镍金属（110）表面用35个氙原子排出“IBM” 三个英文字母，被称为是“世界上最小的广告”。 接着，日本日立中央研究实验室实现了室温下的原子操纵，在二硫化钼的表面以原子刻蚀形式写下了“Peace‘91”字样。 日本的青野原子控制课题组（又称“原子工厂”）在硅上刻出了“日本”两字。 1993年，中国科学院北京真空物理实验室自如地操纵原子成功写出“中国”二字，标志着我国开始在国际纳米科技领域占有一席之地。 由于操纵原子或分子的工作既困难又新奇，所以每一个成果，每一张图案的发表都会引人关注。有人说，看到了原子又怎样？我们知道，上述各种操纵原子或分子的试验都不是为了哗众取宠，也不是为了玩玩而已。操纵原子或分子制造任何人类可能制造的东西是纳米科技发展的目标，上述看到原子、操纵原子或分子的试验都是人类迈向自己奋斗目标的第一步。 第一步总是可贵的！ 3.7 单分子操纵 小分子的操纵 1991年，IBM公司的“拼字”科研小组用STM针尖移动吸附在金属表面的一氧化碳分子，拼成了一个大脑袋小人的形象。图中每个白团是单个一氧化碳分子竖在铂表面上的图象，顶端为氧分子，各个分子的间距约0.5nm。这个分子人从头