拉晶工艺流程.pdf

直拉单晶操作规程 拉晶工艺流程包括拆炉 清炉 清理石墨件 装 炉 抽空 冲氩气 熔硅料 引晶 放肩 转肩 投自动 等径 收尾 停炉 1.拆炉 :准备好不锈钢推车， （车面保持干净）专用擦试布，无水 乙醇及相应的工具。先拧开副室门螺丝 ,打开副室氩气阀门充气 ,待真 空表压力到零位置时 ,炉内外气压平衡 ,开启副室门 ,把晶棒升至副室 内, 升起副室炉筒 ,转副室炉筒时必须把托盘移至副室以下 ,防止晶棒 脱落 .然后旋转副室移至取晶框上 ,稳定晶棒后 ,快降晶体至取晶框内 . 待晶棒与接晶框落稳后，然后带手套抓住细颈稍带点力向下攥 ,用钳 子把细颈剪断 ,再慢慢松细颈，直至钢丝绳搞正完全消失（防止钢丝 绳转圈导致钢丝绳开叉） ，查看一下钢丝绳是否完好，如开叉或断股 要剪掉一段，必要时需更换新钢丝绳。检查重锤表面是否有氧化层， 如有，必须用细砂纸打磨干净，然后带好专用手套取出导流筒 ,保温 盖 ,三瓣埚 ,石墨托盘 ,托杆 ,送至清石墨件房 ,待自然冷却后进行清理 ,特 别注意托杆上有无硅点情况 ,(防止没有清理干净 ,与托杆护套摩擦在 拉晶过程中液面抖动 .) 2.清炉与清石墨件 :清理炉子的副室炉筒 ,小副室 ,炉盖 ,炉筒 ,用长 纤维纸 ,酒精把以上部位全部擦拭干净 ,做到长纤维纸擦拭过后无污 迹。每炉必清排气口 ,以免造成排气口堵塞 ,挥发物过多 ;用吸尘器吸干 净保温罩与加热器上下的挥发物 ,吸净碳毡上的毡毛。需保证在晶体 的生长过程中尽量避免不起毛， 无挥发物等杂质进入料中。 清理石墨 件的时候必须注意观察石墨埚的厚度， 能不能达到要求， 是否有裂纹 等。把石墨件上的挥发物与一些杂质清理干净。 若石墨件上溅有硅料， 应用什锦挫或细沙布打磨除去，必要时用砂轮机打磨。注意：清理石 墨件的时候必须注意轻拿轻放，防止造成内裂！ 3.装炉：安装石墨件时各部位应相互吻合牢固，发现异常及时进 行修正，打开埚转，观察石墨埚转动是否平稳，四周与加热器的间距 是否匀称，检查取光孔是否对准，检查与钢丝绳软轴是否有异常。装 炉应按其程序规范操作： 原料准备 检查石英坩埚 打开 原料袋去掉外层塑料袋， 然后准备装炉。 炉前人员必须检查核对所装 炉的原料与母合金， 是否准确无误。 检查石英埚， 保证无大量气泡群， 无损伤，内表面无黑点，如有异常，标识清楚，由大班长确认后方可 更换。把石墨件按次序装入炉内，穿好防尘服，戴好防尘帽，戴上棉 手套与两层一次性手套，用氩气吹一下石英坩埚内壁后装入石墨埚 内，再用蘸有少量酒精的纤维纸擦拭干净，给上埚转，观察坩埚是否 水平，保证水平的情况下才能装炉。装料时必须轻拿轻放，先在底部 平铺一些小硅料， 然后把一些大块的料轻放在中间， 再把一些小料放 在大块料的中间，填大料缝隙。避免小料与坩埚接触面积过大，这样 容易造成料粘埚边上导致石英埚变形。