almoo3和alfe2o3纳米含能薄膜制备与性能表征.pdf

网络出版时间：2013-07-10 14:08 付 帅 等: / 和 / 纳米含能薄膜制备与性能表征 网络出版地址：/kcms/detail/50.1099.TH1408.001.html 　 AlMoO AlFeO 3 2 3 1 文章编号: ( ) 1001-9731201315-0001-04 / 和 / 纳米含能薄膜制备与性能表征∗ AlMoO AlFeO 3 2 3 , , , , 付 帅 朱 朋 叶迎华 沈瑞琪 李东乐 　 　 ( , ) 南京理工大学 化工学院 江苏 南京 210094 : / 。 , / / 摘 要 使用自动控制磁控溅射仪制备纳米级 的小型化 随着研究的深入 如 和 　 　 Al AlMoO3 Al / , ( )、 和 含能薄膜 使用扫描电镜 之类的高能纳米含能薄膜材料将有较高的应用 MoO AlFeO SEM FeO 3 2 3 2 3 ( ) , 。 原子力显微镜 对其形貌进行分析 使用 射线 价值 AFM X 衍射( )、 射线光电子能谱( )分析薄膜组分, XRD X XPS 实 验 2　 　 ( ) 。 利用差示扫描量热 DSC 进行热力学分析 分析显 , , ; / 示 含能薄膜结构完整 层状结构清晰 AlMoO3 纳米 2.1　实验设备及材料 薄膜中 有较大部分被还原为 和 , 使用自主设计的自动控制真空磁控溅射镀膜仪, MoO MoO MoO 3 2 5 2 / , , AlFeO 纳米薄膜中FeO 有部分被还原为 FeO 同时起辉对称方向的两个靶头 由程序自动控制基片 2 3 2 3 。 , , 含能薄膜中 有少部分被氧化为非晶结构的 在双靶之间来回循环 实现纳米含能薄膜的高效制备 Al AlO 2 3 ,