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来自 中国最大的资料库下载 前工序 工艺流程 前工序工艺流程 玻璃清洗 IR UV Oven 涂感光胶 预固化 曝光 显影 图案检查修复 主固化 酸刻 脱膜 后清洗 图案检查 OK NG 修复 中工序 玻璃清洗 清洗剂+毛刷清洗 DI水+US 气刀喷干 SiO2 ITO 玻璃 灰尘 水 涂感光胶/预固化 感光胶 感光胶 涂胶轮 匀胶轮 支持轮 感光胶滴入匀胶轮与涂胶轮的夹缝，涂胶轮上的凹槽将感光胶转移到ITO表面。热板将玻璃加热90℃,使溶剂挥发。 曝光/显影 UV Mask 曝光区域 未曝区域 显影过程中浓度极小KOH能将它溶解 感光胶照射UV光以后发生化学反应 图案检查、修复/主固化 检查发现有固定位置的短路，用针去除感光胶。主固化时使感光胶与ITO粘接更牢固。 短路 酸刻 这个过程是除去不须要的ITO层，制成ITO图案。 使加热的FeCl3+HCl+H2O酸刻。 ITO SiO2 Resist Glass Resist 脱膜/后清洗 浓NaOH 3% DI水+uS 气刀喷干 这个过程是用浓NaOH除去ITO上的感光胶，再用DI水清洗玻璃表面的任何杂质。为中工序TOP Coating准备。 中工序 工艺流程 中工序流程 TOPCOAT 预固化 UV固化 主固化 TOP Coat 清洗 PI印刷 PI预固化 PI主固化 摩擦 US清洗 印刷边框环氧胶