莱宝镀膜机日常保养和维护(修改)(1).pptVIP

2011/10/15 莱宝机维护和保养 第一版A2 编 写：何剑坪审 核： 批 准：部 门：IR一部编写日期：2012年5月8日 培训目录 1.泵的维护和保养 2.真空计维护和保养 3.离子源的维护和保养 4.光控维护和保养 5.日常保养 泵的维护和保养 泵的维护和保养 莱宝机泵分类 莱宝机泵主要分为下列四种： 1.前级真空泵即机械泵 2.罗茨泵 3.扩散泵 4.Polycold压缩泵 由于莱宝机罗茨泵和Polycold压缩泵工作性质和结构较特殊，不在保养之列，在此也不做介绍。 泵的维护和保养 一、前级真空泵（机械泵）维护和保养 1、基本定义： 前级真空泵俗称机械泵，属于2级（高低旋片）旋片式真空泵。高旋片旋转 带动气体通过腔体经低旋片排出。 2、保养目的： 旋片在高速转动过程中需要大量真空泵油润滑，而真空泵油在长期直接 接触大气和旋片高速旋转所产生的高温条件下容易发生质变，所以需对其进 行定期更换。 3、保养方法： 更换油时需将原来的旧油全部放掉，再将泵芯拆下，清洁泵芯残留物和 油污。拆下低转片排气口阀片，检查其是否有断裂并用丙酮和M3尼龙纱布清 洁其表面油污然后装回。 4、注意事项： a、清洁完后需更换一些必要配件，如：过滤网、油封、轴套、密封垫等