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DSS炉系统概貌 热场 热场是由四组弯曲的石墨平板组成一个四方型的加热器，每一片角落下部亦有连接板作连接，围绕在坩埚的四周，籍此可用平板式隔热元件包覆在它周围。隔离层是在两层的不锈钢笼内，由三个支撑杆控制。隔离笼的石墨板使用平板状，降低部件花费且容易更换。这些隔热板互相交叠避免流失热辐射。在下炉区有一块大的用三支石墨杆支撑的石墨DS-Block，可提供能调整的控制和散热的平面，使晶成长过程为可控制的。另有两片的平板式隔热层置于DS-Block之下，在长晶过程中隔热笼通过三根提升棒上下移动，露出DS-Block的边缘和底部让热散出至水冷的下炉区壁，在热场内形成一个垂直的温度梯度，强迫使熔液从底部开始凝固至上方。 DSS炉系统概貌 真空泵系统 真空泵系统由Root blower及Mechanical backing pump组成，让炉内的压力可以迅速降至0.05mbar。当制程压力需维持在400～600mbar时，由Mechanical pump作用。Ar气是制程中压力的一部分，进入的量由质流控制器(MFC)控制，抽气是由连接真空泵的比例调节阀（V3）调整。空气压力控制阀（V1）用在关闭Ar气进气系统及使炉体与真空系统分开。另设一个独立的阀（V7）控制He气在冷却过程中可以通入。 DSS炉系统概貌 电源供应系统 165kVA 的电源经由水冷的缆线提供加热组件功率，电源供应分成两个部份，第一个是位于夹层上靠近水冷的feedthroughs的降压变压器，变压器提供一个每相为最大压力25VAC、3800Amps的输出。另一个电源供应柜位于夹层后方，内含有控制提供电源至主变压器初级线圈的SCR控制器，此柜还含有控制电源的降压变压器、加热器接触器、真空泵接触器、下炉体驱动马达、各种电路断路器和保险丝。SCR控制器照着power set point的设定打开及关闭一定的时间(cycle time为4秒)，例如设定为30％，SCR控制器完全打开30％的时间(1.2杪)及关闭70％的时间(2.8杪)。SCR控制器的循环时间为4秒，所以上例中SCR的工打开时间为1.2秒，关闭时间为2.8秒，然后重复循环。这种类型的控制将大幅度提高整个系统的电源使用的功率因素和效率。 DSS炉系统概貌 控制柜 控制柜内有Input/Output模块(I/O)、Opto process controller(LCM4)、 power supplies、insulation motor drive及UPS。还有必需的回路断路器及保险丝以避免过载。来自此控制柜的电缆连接到电源控制柜和机器上的仪器及传感器。 DSS炉系统概貌 操作控制台 控制面板位于主脚架上并包含触碰屏幕及计算机，三个警示灯及蜂鸣器 安装于夹层下方，提醒操作者存在潜在的问题。紧急停止钮位于面板右上方，让操作者紧急关闭所有通至机台输出仪器的电源，这会让机台处于安全的状况。(关闭所有的气阀、泵及电源供应) DSS炉系统概貌 注意紧急停止按钮并不会移去所有的电源，在控制柜及电源供应器内还是含有危险的电压在。 操作窗口 接下来的部分会介绍操作者在控制DSS时最常用到的窗口及功能。 ALARMS、OVERVIEW、MODES、RECIPE、MANUAL (or REAL VALUES)还有PLOT DATA 键都会显示在屏幕的下方。 DSS炉系统概貌 Alarms Button Alarms Screen 当有声音的警告出现而需要操作者注意时，会弹出这个警告窗口。有问题的项目会呈现红色，若是正常状况下会呈现绿色。在任何时间若想进入此窗口亦可压下Alarms screen键。按下Silence Alarm键以消除警告声音，此键同时也可以清除Alarm状况。当按下Silence Alarm键时，若是Alarm持续存在则状况仍为红色；否则会变成绿色。所有的Alarms都是延迟的，即是红色的状况不会消失直到操作者按下Silence Alarm键，即使此Alarm已经解除。 如果侦测到Critical Alarm（危急警告），电源关闭的倒数计时会激活，秒数归零后Power Supply Contactor会关闭。所谓的Critical Alarms是指Critical Water Flows、Max Temp及Max Pressure。