光电检测技术及应用第5章 辐射信号检测201607.pptVIP

在像面上共轭地放置两个狭缝1和2，通过分光元件3得到的两个线像分别成像于狭缝面上，狭缝中心距等于线像宽，两个狭缝的定位特性具有类似的形状，如上图。将两狭缝后的各自光电接收电路差分连接，则检测器的差分输出可利用非线性图解法得到。在线性区内，定位特性可表示为 ，其中，E0为照明光强，h为狭缝高，?x为线像中心相对狭缝中心的偏移量。然后利用相敏检波方法即可分离出被检测的位置偏移。 四、空间分布光信号的检测方法 第五章 辐射信号检测 单通道扫描调制式像分析器 此种装置在成像光路增设了周期振动的光学零件或振动狭缝，使像面上的目标像相对狭缝作周期振动。这时透过狭缝的光通量形成随时间周期性变化的光载波。目标像的位移信息将由于像分析而调制到载波上去，从而产生各种调制的光信号。这种使目标像和测光窗口之间相对扫描运动的像分析器称做扫描调制型像分析器。 四、空间分布光信号的检测方法 第五章 辐射信号检测 3、扫描调制式像分析器与静态光电显微镜 四、空间分布光信号的检测方法 第五章 辐射信号检测 三、几何光学方法的光电信息变换 第五章 辐射信号检测 三角测量原理示意图---直射式结构 θ 式中: 三角测量---直射式结构 三、几何光学方法的光电信息变换 第五章 辐射信号检测 激光三角法---斜射式结构 三角测量原理示意图---斜射式结构 注：斜射式无法知道被测面中某点位移情况，直射式可以。 直射式和斜射式对比： 三、几何光学方法的光电信息变换 第五章 辐射信号检测 三、几何光学方法的光电信息变换 第五章 辐射信号检测 激光三角法改型 目的减小前述结构a值的不确定度 三角测量原理另一种表述 被测距离为 而 所以 激光三角法 应用激光三角位移传感器测量管内壁形貌原理 激光三角位移传感器固定在管内行走的小车上，使传感器发出的光束垂直入射于管内壁某一点上。若被测管内壁尺寸沿径向有一个变化量，即入射光点从B点变化到B’点，此时激光三角位移传感器的输出值反映了该变化量。 为获得管内壁的整周信息，步进电机3带动激光三角位移传感器绕管中心做整周回转，使光点沿管内壁表面转动扫描，量出管内壁某截面径向尺寸。小车在管内沿轴向移动，传感器的转角和轴向位移步进电机发出的脉冲数求出，这样就完成整个管内壁三维形貌测量。 三、几何光学方法的光电信息变换 第五章 辐射信号检测 1-激光三角位移传感器，2-联轴器，3-步进电机 4-驱动轮，5-随动轮，6-支撑轮，7-被测管内 壁 单点激光三角位移传感器测量管内壁形貌原理 激光三角法 激光三角位移传感器 三、几何光学方法的光电信息变换 第五章 辐射信号检测 超快的速度: 392kHz 超高的精度: ±0.02% 超高的重复性: 0.005μm 全新开发的“ABLE II” 控制 全新中等距离传感器头: LK-H008/008W/80/82/85/87/150/152/155/157 基恩士： LK-G5000 超高速/高精度CMOS激光位移传感器 三、几何光学方法的光电信息变换 第五章 辐射信号检测 基恩士： LK-G5000原理 三、几何光学方法的光电信息变换 第五章 辐射信号检测 基恩士：LK-G5000 应用 激光三角法 激光三角位移传感器应用 LH系列传感器可提供精确的距离、厚度和对准测量。其应用范围包括热部件、机床加工件、半导体和印刷电路板、发光或反射部件以及柔软或粘性部件。该系列有三种型号，测量范围分别为25-35 mm、60-100 mm和100-200mm。通过将两个传感器安装在目标的两侧并自动同步，可进行厚度测量。可将最多32个传感器轻松组合至多轨位移或厚度传感器的混合测量网络。 三、几何光学方法的光电信息变换 第五章 辐射信号检测 激光三角法 应用激光三角位移传感器 广泛用于火车轮轮缘轮廓测量，公路车辙、平整度测量。也可用于非接触测量位移、三维尺寸、厚度、物体形变、振动、分拣及玻璃表面测量等。 三、几何光学方法的光电信息变换 第五章 辐射信号检测 三、几何光学方法的光电信息变换 第五章 辐射信号检测 光学灵敏杠杆法 万能工具显微镜接触瞄准系统 问题：采用何种方法定位，确定采样点的位置？ 三、几何光学方法的光电信息变换 第五章 辐射信号检测 找拐点法 测弦找中点法 信号处理电路 差动法（比较法） 双光路差动法测量物体长度 调整，放入标准尺寸工件，调整光楔，使微安表读数为零；测量完，将位移信息变换可以通过PSD、光电池、光电法、光焦点法、像偏移法等方式来实现。 三、几何光学方法的光电信息变换 第五章 辐射信号检测 三、几何光学方法的光电信息