光电检测技术及应用第9章 位移量检测.pptVIP

第9章 位移量检测 二、光栅线位移检测 光栅位移传感器是模-数传感器的一种，采用的是与数字计算机相连接的数字控制和数字测量技术。用光栅产生的莫尔条纹来实现位移量变成光学条纹信号。 可用来测量长度、角度、振动和应变分布，还可以作为自动控制系统中的反馈信号来校正系统误差。广泛应用于测长、测角和数控机床中。 长光栅：用于长度计量和控制 计量光栅 圆光栅：用于角度计量和控制 第9章 位移量检测 二、光栅线位移检测 1、光栅位移传感器（光栅尺）的光电读数头 莫尔条纹信号检取结构 1—光源 2—聚光镜 3—标尺光栅 4—指示光栅 5—透镜 6—遮光板 7—狭缝 8—光电器件 第9章 位移量检测 二、光栅线位移检测 光栅位移及遮光 图b~图e分别表示光栅4沿箭头方向移过 、 、 、 时，两光栅的相对位置，如果两光栅黑白线条相等，并假定入射通量为 ，那么对于a-d这4个位置的透过通量分别为 、 、 0、 。 第9章 位移量检测 二、光栅线位移检测 光栅输出信号波形 理想的条纹信号 实际的条纹信号 光电信号 第9章 位移量检测 二、光栅线位移检测 光电信号漂移变化 影响调制系数的因素还有接收窗口宽度，调制系数随着狭缝相对宽度的增大反而减小。反之，狭缝宽度减小时，调制系数增大。但是，当狭缝相对宽度进一步减小时，入射到光电器件的光通量将减小，使输出信号幅值显著下降。 第9章 位移量检测 二、光栅线位移检测 2、光源和光强调制 常用光源的种类有钨丝白炽灯、激光器和半导体发光器件，对光源的要求是：①适应光学系统成像的要求；②外形尺寸适应机构设计的要求；③光源效率高、寿命长、稳定性好；④更换光源时离散性小；⑤光源供电电路简单，对其他电路干扰小。 光源强度控制电路的原理框图 第9章 位移量检测 二、光栅线位移检测 3、四相交流信号和前置放大器 四相交流信号和光电器件空间位置的对应关系 第9章 位移量检测 二、光栅线位移检测 前置放大器原理图 用4个差分放大器产生四相交流信号 用两个差分放大器，然后用两个倒相器产生四相交流信号。 第9章 位移量检测 二、光栅线位移检测 4、光栅位移检测装置（光栅尺） 在光电读数头内部安装指示光栅，当光电读数头与标尺光栅相对运动时，便产生位移信号至输出放大器。位移信号经放大、细分、整形后，得到相位差 的两路脉冲信号，然后由方向判别器判别两路脉冲信号的先后顺序（即位移方向），再控制可逆计数器进行加或减计数。 光栅位移检测装置的原理框图 第9章 位移量检测 三、光栅角位移检测 1、概述 将角度量变换为数字代码的装置叫做轴角编码器。 直读式编码器 增量式编码器 直读式光电轴角编码器的结构原理图 第9章 位移量检测 三、光栅角位移检测 4个电刷 4位二进制码盘 +5V输入公共码道 最小分辨角度为 α=360°/2n 第9章 位移量检测 三、光栅角位移检测 电路处理框图 一般在中、低位数采用直读式编码器，高位数（19位以上）采用增量式编码器。 第9章 位移量检测 三、光栅角位移检测 2、增量式轴角编码器 增量式编码器的特点是输出信号是相对起始位置的变化量。增量式编码器的码盘不是存储的角位置信息，而是角度增量信息。 圆光栅付 4圈码道光栅及信号波形 第9章 位移量检测 三、光栅角位移检测 增量式编码器信号处理电路原理框图 第9章 位移量检测 三、光栅角位移检测 模拟量对径相加平均结构 第9章 位移量检测 三、光栅角位移检测 3、绝对式光电轴角编码器的基本原理 码盘与轴固定在一起，随着轴的旋转，静止不动的狭缝读出与之相对的码盘位置上的代码，由于它直接由码盘上读出角位置故称之为直读式，此外它的读数能给出绝对值，不受起始位置和中间某些错误读数的影响，亦称为绝对式。 10码道光电绝对式码盘 透光区 不透光区 零位标志 第9章 位移量检测 三、光栅角位移检测 5位数码盘及展开图案 第9章 位移量检测 三、光栅角位移检测 位数、位序与分辨率的关系 5位码盘的角分辨率为： 低位（ ）代码所代表的角度为 高位（ ）代码所