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- 2020-02-07 发布于上海
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双极型晶体管等效电路模型;1.集电区电阻
在饱和状态下,集电区电阻的压降可能大于本征器件的饱和压降
降低集电区电阻的措施
2.基区电阻
由基区的扩散薄层形成
3.电容
发射结电容,集电极电容,衬底结电容
;4.2.2 纵向结构设计
1.集电区材料的选择
两个参数:外延层掺杂浓度和外延层的厚度
外延层掺杂浓度对数字电路主要考虑对Rc的影响,对模拟电路主要考虑击穿电压的影响。
外延层的厚度由集电极结深xjs、集电结最大耗尽层宽度xmc、衬底结杂质反扩散深度决定。;
2.基区宽度Wb的选???
晶体管的基区宽度Wb是纵向结构中最重要的参数之一。基区的下限由集电极击穿电压伸入基区侧的集电结耗尽层宽度决定。XmbWb。
(1)大功率管,采用宽基区结构。
(2)超?晶体管用窄基区结构,可以用基区输运系数?*确定最大Wb值。
;3.发射结结深和集电极结深
对于一般的双极集成电路:
Xjc:2.5~3um, xje:1~2um
4.基区和发射区表面掺杂浓度
为了保证发射效率,要求发射区表面浓度应比基区表面浓度高两个数量级。
发射区表面浓度:5×1020/cm3
基区表面浓度:5×1018/cm3
;横向结构设计就是根据器件参数指标要求,确定管芯的平面几何图形及其有关尺寸,即光刻版的图形结构设计。
1.发射极总周长的选择
考虑光刻精度、大电流时的发射极集边效应
2.集电结边缘到隔离墙间尺寸的选择
考
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