器件仿真工具dessis的模型分析.pptxVIP

第6章 器件仿真工具（DESSIS）的模型分析; 器件仿真主要是通过解一系列的数学物理偏微分方程，以得到相应器件的电热特性。描述半导体器件中电荷传输的主要方程有：泊松方程、电子连续性方程、空穴连续性方程，分别如下式所示： （6.1） （6.2） （6.3）; 所有这些偏微分方程中所涉及的物理参量必须要有相应的物理模型来描述，从而将器件结构特性、应用???置特性和相应的电学参数加以联系，而根据制造工艺、器件结构以及应用条件的不同，要选用的物理模型、方程边界条件、物理模型的相应参数也不同。 物理模型的选择主要包括 传输方程模型、 能带模型（还包括玻耳兹曼统计模型或费米统计模型的选择） 迁移率模型、 载流子产生-复合模型。 ;2019/12/27;2019/12/27;DESSIS中描述的传输方程主要有三种模型： 漂移-扩散模型 热力学模型 流体力学模型 ; 热力学模型考虑了晶格自热效应，适用于热交换小、功率密度大