Q_YTNS 001-2019乙硼烷混合气产品标准.pdf

Q/YTNS 001-2019 Q/YTNS 扬州大阳日酸半导体气体有限公司企业标准 Q/YTNS 001-2019 乙硼烷混合气产品标准 2019-10-09发布 2019-10-09实施 扬州大阳日酸半导体气体有限公司 发布 Q/YTNS 001-2019 前 言 本标准按GB/T 1.1—2009 《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》的规定编写。本 标准由扬州大阳日酸半导体气体有限公司提出。 本标准起草单位：扬州大阳日酸半导体气体有限公司。 本标准主要起草人：江洪。 本标准于2019 年10 月09 日首次发布。 Q/YTNS 001-2019 乙硼烷混合气产品标准 1 范围 本标准规定了乙硼烷混合气产品标准的和术语和定义。 本标准适用于扬州大阳日酸半导体气体有限公司生产的乙硼烷混合气产品标准产品。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 TSG R0006-2014 气瓶安全技术监察规程 GBT 34526-2017 混合气体气瓶充装规定 GB 16804-2011 气瓶警示标签 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本标准。 3.1 载气 —是指将吸附样品后分离的杂质从GC 内色谱柱运输到色谱柱另一端的检测器的惰性气体。 3.2 TCD —热传导式检测器，是指用于对原料内轻质气体杂质进行检测的检测器。 3.3 PDHID —脉冲放电氦离子化检测器，是指用于对气体内轻质气体杂质进行检测的检测器 4 产品分类 本产品属于电子混合气 5 技术要求 5.1 乙硼烷混合气产品及规格指标 乙硼烷混合气主要分：乙硼烷与氮气的混合气、乙硼烷与氢气的混合气 乙硼烷与氮气的混合气主要有： NO. 乙硼烷与氮气的混合气的浓度范围 1 乙硼烷与氮气的混合气≤1% 2 1%乙硼烷与氮气的混合气≤5% 1 Q/YTNS 001-2019 乙硼烷与氢气的混合气主要有： NO. 乙硼烷与氮气的混合气的浓度范围 1 乙硼烷与氢气的混合气≤1% 2 1% 乙硼烷与氢气的混合气≤5% 3 5% 乙硼烷与氢气的混合气≤10% 4 10% 乙硼烷与氢气的混合气≤15% 5 15% 乙硼烷与氢气的混合气≤30% 乙硼烷规格要求 项目 指标 单位 B H