微纳米技术常用于微纳系统材料03上课.pptVIP

常用于微、纳系统中的基础材料与工艺;一.引言 二.常用于MEMS、NEMS的材料 2.1 硅及其硅基化合物材料 2.1.1 单晶硅 2.1.2 多晶硅 2.1.3 多孔硅 2.1.4 二氧化硅 2.1.5 氮化硅 2.1.6 碳化硅 ;一、引言;从一个器件说起……;;硅及其化合物：单晶硅；多晶硅；多孔硅；石英晶体；二氧化硅；氮化硅；碳化硅等 其他半导体材料：锗；砷化镓等 聚合物材料：聚酰亚胺；PMMA；PDMS；PC； 金属材料：金；铝；铜；W；Ni；TiNi；Fe等金属 高分子材料以及生物大分子：  （1） artificial nanomaterials a. 包括纳米颗粒或纳米管等 b. 分子拓印、纳米颗粒或纳米管等生技应用、表面纳米生技多使用人工纳米材料 (2) natural nanomaterials a. 包括proteins, DNA, 脂肪lipids等，會作重組工作的天然分子 b. DNA工程与分子组装、生物分子组件、式样形成使用的多为纳米级生物分子 其他功能材料：压阻；压电；热敏；光敏；形状记忆合金；磁性材料；其他;结构材料 基底材料：硅、砷化镓、其他半导体材料、聚合物等高分子材料 薄膜材料：单