Q_320700RZK 002-2020超纯氨水企业标准.pdf

江苏瑞兆科电子材料有限公司 企业标准 企业标准 超纯氨水 编制：殷建林 审核：许先德 批准：刘昭维 2020 年 3 月 1 日发布 2020 年 6 月 1 日实施 江苏瑞兆科电子材料有限公司 前 言 超纯氨水的主要用途：一是用于基片在涂胶前的湿法清洗；二是用于在光刻过程中 的蚀刻及最终的去胶；三是用于硅片本身制作过程中的清洗。 硅圆片在进行工艺加工过程中,常常会被不同的杂质所沾污,这些杂质的沾污将导致 IC 的产率下降大约50% 。为了获得高质量、高产率的集成电路芯片,必须将这些沾污物 去除干净。 本产品目前尚无国家标准、行业标准，根据国家标准化法规的规定，特制定企业标 准，作为企业组织生产、质量检验和经营活动的依据。 本标准由江苏瑞兆科电子材料有限公司提出并起草。 本标准主要起草人：殷建林、许先德、刘昭维。 本标准有效期为五年。 第 2 页 共 5 页 江苏瑞兆科电子材料有限公司 氨 水 1 范围 本标准规定了超纯氨水的规格要求、试验方法、检验规则、标签、包装、运输、储存等内容。 本标准适用于超纯氨水，本产品主要应用于IC 行业的芯片的清洗。 分子式：NH ·H O 3 2 分子量：17.03 （按1987 年国际原子量） 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所 有的修改单（不包括勘误的内容）或修订均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议 的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本 标准。 GB605-88 《液体化学产品颜色测定法（Hazen 单位—铂-钴色号）》（eqv ISO 2211-1973）。 GB601 化学试剂 滴定分析（容量分析）用标准溶液的制备。 3 规格要求 氨水应符合表一的规定 表一 氨水测定要求 检测项目 UPS UPSS 色度(APHA) ≤10 ≤10 浓度 （% ） 28~30 28~30 金属离子，ppb 铝（Al ） ≤1 ≤0. 1 锑（Sb ） ≤1 ≤0. 1 砷（As ） ≤1 ≤0. 1 钡（Ba ） ≤1 ≤0. 1 铋（Bi ） ≤1 ≤0. 1 硼（B ） ≤1 ≤0. 1