Q_320700RZK 003-2020电子级氯气企业标准.pdf

江苏瑞兆科电子材料有限公司 企业标准 企业标准 电子级氯气 编制：殷建林 审核：许先德 批准：刘昭维 2020 年 3 月 1 日发布 2020 年 6 月 1 日实施 江苏瑞兆科电子材料有限公司 前 言 电子级氯气的主要用途：一是微电子工业中去除硅表面微量钠离子，从而改善MOS 器件的电性能；二是在光导纤维中，通入氯气，可以消除光纤中羟基，降低损耗；三是 其他还可以应用到高温超导材料制备。 本产品目前尚无国家标准、行业标准，根据国家标准化法规的规定，特制定企业标 准，作为企业组织生产、质量检验和经营活动的依据。 本标准由江苏瑞兆科电子材料有限公司提出并起草。 本标准主要起草人：殷建林、许先德、刘昭维。 本标准有效期为五年。 第 2 页 共 4 页 江苏瑞兆科电子材料有限公司 氯 气 1 范围 本标准规定了电子级氯气的规格要求、试验方法、检验规则、标签、包装、运输、储存等内容。 本标准适用于电子级氯气，本产品主要应用于IC 行业的芯片的清洗。 分子式：Cl2 分子量：70.90 （按1987 年国际原子量） 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所 有的修改单（不包括勘误的内容）或修订均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议 的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本 标准。 3 规格要求 氯气应符合表一的规定 表一 氯气测定要求 检测项目 EL 氯含量 （% ） ≥99.999 金属离子，ppb 铝(Al) 1 钙(Ca) 10 镉(Cd) 1 钴(Co) 10 铬(Cr) 20 铜(Cu) 20 铁((Fe) 50 钾(K) 100 镁(Mg) 1 锰(Mn) 1 钼(Mo) 10 钠