微电子技术第1章　绪　　论.pptVIP

第1章　绪　　论 1)描述现在的经济状态和半导体产业的技术根基。2)解释什么是集成电路。3)解释什么是特征尺寸，并理解摩尔定律如何预测未来硅片制造发展。4)描述自晶体管发明到现代硅片制造的不同电子时代。 第1章　绪　　论 1.1　微电子科学技术的发展历程1.2　微电子学的特点 1.1　微电子科学技术的发展历程 1.1.1　晶体管的发明 图1-1　世界上第一个晶体管的照片(最原始的点接触型晶体管) 1.1　微电子科学技术的发展历程 图1-2　发明晶体管的三位科学家在实验室中的合影 1.1　微电子科学技术的发展历程 图1-3　基尔比发明的世界上第一块集成电路 1.1.2　集成电路的发展历史及规律 1.1　微电子科学技术的发展历程 图1-4　2000年基尔比获得诺贝尔物理学奖 1.1　微电子科学技术的发展历程 图1-5　集成电路规模按摩尔定律发展的趋势 1.1　微电子科学技术的发展历程 目前国际的规模化生产是45nm工艺，我国的规模化生产是90nm工艺，65nm工艺线即将在2010年投产。 表1-1　2007年集成电路技术发展节点(Roadmap) 1)集成电路的特征尺寸向深亚微米发展， 1.1　微电子科学技术的发展历程 图1-6　摩尔定律下集成电路特征尺寸变化规律 2)晶圆尺寸的增加。 3)随着集成电路的规模、速度、复杂度、制造成本的不断提高，集成电路设计能力出现了滞后现