Q_XCYXT0018-2019钕铁硼晶界扩散用镝平面靶.pdf

H65 Q/XC 有研稀土新材料股份有限公司企业标准 Q/XCYXT0018—2019 钕铁硼晶界扩散用镝平面靶 Dysprosium plane sputtering target used in grain boundary diffusion of Nd-Fe-B 2019-11-0 1 发布 2019-11-01 实施 有研稀土新材料股份有限公司 发布 Q/XCYXT0018—2019 前 言 随着新能源汽车、变频空调、节能电梯、风力发电、人工智能等领域发展，高性能 钕铁硼永磁材料需求呈现快速增长的趋势，越来越多企业的高度重视既能提高磁体性能， 又能降低重稀土镝（Dy ）用量和节约成本的磁控溅射镀膜+ 晶界扩散工艺渗 Dy 技术，为 推动该技术的推广和赋能磁材行业重稀土减量化技术的发展，有研稀土新材料股份有限公 司经过几年的研发和生产实践，在国内率先突破高性能钕铁硼晶界扩散用 Dy 平面靶制备 技术和装备，Dy 靶材产品相对纯度 99.9% 以上、O2000ppm、致密度99.5% 、尺寸公差 ±0.1mm 、表面粗糙度≤3μm、晶粒平均尺寸≤300μm，实现Dy 靶材的高效、批量化生产， 且可生产全系列规格 Dy 平面靶，生产工艺技术达到了国际先进水平，建有国内最大 Dy 平面靶生产线，产品在磁材行业实现稳定应用。目前Dy 靶材市场需求量大、磁材企业对 其质量要求不一等情况，不利于本公司生产的高品质Dy 平面靶材的应用推广和行业发展， 因而为适应市场需求，实现科学化、标准化、规范化管理，维护消费者利益，同时为响应 《国家标准化体系建设发展规划（2016—2020 年）》的文件精神 “发挥市场主体作用。鼓 励企业和社会组织制定严于国家标准、行业标准的企业标准和团体标准，将拥有自主知识 产权的关键技术纳入企业标准或团体标准，促进技术创新、标准研制和产业化协调发展”， 制定镝靶材标准。 本公司根据《中华人民共和国标准化法》第六条之规定及Dy 平面靶产品的生产实际、 销售和应用情况制定本企业标准。 本标准是新制定的企业标准。 本标准的格式和技术内容按GB/T 1.1-2009 的规定编写。 本标准由有研稀土新材料股份有限公司提出并起草。 本标准主要起草人：陈德宏、钟嘉珉、庞思明、李宗安、宋振华、王志强、周林、吴 道高、程军、杨秉政、王爽、张艳岭、杨启山 本标准于2019 年11 月01 日首次发布。 1 Q/XCYXT0018—2019 钕铁硼晶界扩散用镝平面靶 1 范围 本标准规定了钕铁硼晶界扩散用镝平面靶的化学成分、致密度、平均晶粒尺寸、内部质量、表面粗 糙度、几何尺寸、公差及外观质量、焊接质量、试验方法、检验规则和标识、包装、运输、贮存。 本标准适用于采用“真空熔铸+热机械化处理”或“粉末烧结+热机械化处理”技术路线生产的镝平 面靶，主要用于高性能钕铁硼永磁体磁控溅射镀膜领域。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的 修改单或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的 新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T 12690 （所有部分）稀土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法 GB/T 14635 稀土金属及其化合物化学分析方法 稀土总量的测定 GB/T 18115.9 稀土金属及其氧化物中稀土杂质化学分析方法 镝中镧、铈、镨、钕、钐、铕、钆、 铽、钬、铒、铥、镱