Q_TX BBY001-2019热解氮化硼企业标准.pdf

H83 Q/TX 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司企业标准 Q/TX BBY001-2019 代替Q/TXBBY001-2016 热解氮化硼材料 2019-10-18发布 2019-11-18实施 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司发布 Q/TX BBY001-2019 前 言 本标准代替Q/TX BBY001-2013 《热解氮化硼材料》。 本标准由北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司提出。 本标准起草单位：北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司。 本标准主要起草人：王军勇。 本标准于2004年首次发布，2007年第一次修订，2010年第二次修订, 2013年第三次修订， 2016年第四次修订，2019年第五次修订。 I Q/TX BBY001-2019 热解氮化硼材料 1 范围 本标准规定了热解氮化硼 （PBN）材料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装及贮存。 本标准适用于PBN材料。 2 产品代号 PBN材料经高温气相合成，属高温绝缘陶瓷材料，命名为：PBN100。 示例如下： P B N 100 代号 氮 硼 热 解 3 要求 3.1 颜色 纯的PBN为乳白色或黄色。 3.2 规格尺寸 PBN可按客户要求的图纸尺寸加工成各种规格的PBN材料，具体尺寸及加工精度由合同双方协商规 定。 3.3 体积密度和重量 PBN体积密度应在1.80g/cm-2.20g/cm之间，重量则根据合同图纸要求。3 3 3.4 工艺要求 定型后，工艺一般不得随意变动，如需改变,需征得技术部同意，并报质量部备案。 4 检验方法 4.1 外观尺寸 根据合同规定的尺寸精度要求，用卡尺、千分尺、高度尺、塞规、超声波测厚仪等进行测量。 4.2 体积密度的测量 先用天平，分别称出PBN产品在空气中和水中的重量，然后根据阿基米德定律即可计算出PBN材料的 体积密度，要求精确到小数点后面三位。 4.3 重量检验 用电子秤秤量坩埚重量。 2 Q/TX BBY001-2019 4.4 颜色 PBN材料的颜色用肉眼观察。 5 检验规则 本产品由公司质量部按规定进行检验，检验合格并签发合格证后产品方能出厂。 5.1 检验项目及抽样比例 5.1.1 颜色 抽检率100%。 5.1.2 尺寸 抽检率100%。 5.1.3 体积密度 每炉至少一件。 5.2 判定规则 5.2.1 当检验结果有一项指标不符合本标准要求时，则该件产品不合格。 5.2.2