Q_JNLDJJF 005-2019洁净工作台校准规范.pdf

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Q/JNLDJJF 济南市量度计量研究院有限公司企业标准 JNLDJJF 005-2019 洁净工作台校准规范 Calibration specification of Clean Bench 2019—10—10 发布 2019—10—10 实施 济南市量度计量研究院有限公司 发 布 1 Q/JNLDJJF 005-2019 前 言 本标准依据 GB/T1.1-2009B 《标准化工作导则第 1 部分 标准的结构和编写》有关规定编 写。 本标准由济南市量度计量研究院有限公司提出并编写。 本标准起草人: 孙浩 孙学文 本标准由济南市量度计量研究院有限公司法定代表人:孙学文 批准发布,并对标准中所规 定的内容和实施后果负责。 本标准自发布之日起执行。 Q/JNLDJJF 005-2019 目 录 1 范围 (1) 2 引用文件 (1) 3 术语 (1) 4 概述 (2 ) 5 计量特性 (2 ) 6 校准条件 (3 ) 7 校准项目和校准方法 (3 ) 8 校准结果表达 (6 ) 9 复校时间间隔 (6 ) 附录一: 空气洁净度测量结果不确定度的评定与表示 (7 ) 附录二: 洁净工作台校准原始记录格式 (9 ) 附录三: 校准证书内页格式 (10 ) Q/JNLDJJF 005-2019 洁净工作台校准规范 1 范围 本规范适用于单向流洁净工作台的计量性能校准。 2 引用文件 本规范引用下列文件: JJF 1071-2010 国家计量校准规范编写规则 JJF 1001-2011 通用计量术语及定义 JJF 1059.1-2012 测量不确定度评定与表示 GB/T 25915.1-2010/ISO 14644-1:1999 洁净室及相关受控环境 第1 部分:空气洁净度等级 GB/T 25915.3-2010/ISO 14644-3:2005 洁净室及相关受控环境 第3 部分:检测方法 GB 4793.1 《测量、控制和实验室用电气设备的安全要求》第1 部分:通用要求 JG/T 292-2010 《洁净工作台》 凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于该规范;凡是不注日期的引用文件,其最新版 本(包括所有的修改单)适用于本规范。 3 术语 3.1 粒子浓度particle concentration 在规定的采样流量和采样时间内,被测空气单位体积中存在的不小于制定粒径的离散粒子的个 数。 3.2 洁净度等级cleanliness classification 以ISO N 级表示的、洁净室或洁净区内按空气悬浮粒子浓度划分的洁净度水平(或规定、确定 该水平的过

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