传感器结构基本原理和总体设计第七章光电式传感器.ppt

（一）功能型光纤传感器 2、光相位调制型 压力、应变、温度、磁场等被测量通过影响光纤的长度、折射率和内部应力等引起光信号相位的变化。检测一般采用干涉仪。马赫-琴特干涉仪调制相位原理如图7-28所示： （一）功能型光纤传感器 3、光偏振态调制型 椭圆偏振光 线偏振光 圆偏振光 外界因素使光纤中偏振态发生变化，并能加以检测的光纤传感器为偏振态调制型。如利用磁旋效应做成的高压传输线用的光纤电流传感器。 (7-29) (7-30) * * （一）功能型光纤传感器 1、光强度调制型 被测量通过影响光纤的全内反射实现光强度调制。 调制条件为 调制途径：①改变光纤几何形状，实现力、位移和压强等的测量。图7-27a；②改变纤芯或包层折射率，如可采用不同的包层材料。图7-27b光强被油滴调制。 （一）功能型光纤传感器 2、光相位调制型 压力、应变、温度、磁场等被测量通过影响光纤的长度、折射率和内部应力等引起光信号相位的变化。检测一般采用干涉仪。马赫-琴特干涉仪调制相位原理如图7-28所示： （一）功能型光纤传感器 3、光偏振态调制型 椭圆偏振光 线偏振光 圆偏振光 外界因素使光纤中偏振态发生变化，并能加以检测的光纤传感器为偏振态调制型。如利用磁旋效应做成的高压传输线用的光纤电流传感器。 (7-29) (7-30) 第六节 激光式传感器 激光式传感器组成：激光器、光学零件和光电器件。 一、激光干涉传感器 工作原理：光的干涉原理 典型应用：迈克尔逊双光束干涉系统 反射镜M2移动半个光波波长，干涉条纹明暗变化一次，测量位移x计算公式如下： 激光干涉测量表面粗糙度 二、激光测微测头 绝对距离传感器，利用激光的方向性好的特点。 三角法测头原理图 测量原理：利用几何三角关系测位移。激光聚焦成小光斑，成像于光电探测器，投影光轴与成像光轴夹角θ，被测位移x近似计算如下： 三、激光扫描传感器 基本工作原理：氦氖激光器发出激光细束经扫描装置恒速对直径D的被测物体扫描，光电器件接收后转换成如图所示电脉冲，测出Δt即可求得直径D。 D=vΔt 实例：激光扫描测径仪 1、组成如下图。 2、物体轮廓的光强分布因激光衍射影响形成缓慢过渡区，不能准确形成边缘脉冲。为此要对电信号适当处理，处理方法： 取最大输出的半功率点（I0/2）作为边缘信号，但受激光光强波动、放大器漂移影响不易获得高精度； 对电信号通过电路二次微分，取二次微分的过零点作为轮廓的边缘位置，测量精度较高。如直径0.8mm，1μm的分辨力和±3 μm的测量精度。 第四节 光纤传感器 概念：光导纤维（Optical Fiber），简称光纤。 光纤的应用： 1、光纤通信技术：一根头发般细小的光纤，其传输的信息量相等于一条饭桌般粗大的铜“线”。 科学家高锟，发明了石英玻璃，制造出世界上第一根光导纤维。在“有关光在纤维中的传输以用于光学通信方面”取 得了突破性成就 。 光纤电缆 光纤之父-高锟 获2009年诺贝尔物理学奖 光纤的应用： 2、传输光源或图像：光纤照明灯、 内窥镜等。 光纤的应用： 3、光纤传感器：光纤与敏感元件组合或利用本身的特性，可以做成各种传感器。 光纤传感器的优点：抗电磁干扰能力强；柔软性好；集传感与传输一体，可构成分布式传感测量。 测量对象：位移、速度、液位、压力、流量、温度、电流、磁场等。 一、光纤传感器的基本知识： 结构：纤芯、包层、保护层。 n1——纤芯材料的折射率； n2——包层材料的折射率。 Δ=1- n2 /n1，相对折射率差，一般为0.005~0.140。 导光原理：光的全反射。 分类 纤芯材料：玻璃光纤、塑料光纤、混合光纤等。 传输模式：单模光纤；多模光纤。 光纤中传输的光，可分解为沿轴向和沿截面径向传播的两种平面波成分。沿截面径向传播的光波在纤芯与包层的界面上产生全反射，因此当它在径向每一次往返传输（相邻两次反射）的相位变化是2π的整数倍时，就在截面内形成驻波。这只有形成驻波的光才能在光纤中传播。一个驻波一个模。光纤中只能传输有限个模。 分类 折射率分布：阶跃型光纤、梯度型光纤。 阶跃型 梯度型 二、光纤传感器 （一）功能型光纤传感器 光纤既是光传播的介质，又对被测量敏感。光波的振幅（光强）、相位和偏振态随光纤的环境（如应变、压力、温度、电场、磁场等）而改变。 （二）非功能型光纤传感器 光纤仅作为光传播的介质，要与其他敏感元件组成传感器。 （一）功能型光纤传感器 1、光强度调制型 被测量通过影响光纤的