材料电子显微特点和成分分析.pptVIP

* 主要生产厂家： 菲利浦（FEI）公司， 日本电子（JEOL）公司， 日立（Hitachi）公司、 德国（LEO）公司、 中科院科学仪器厂，等。 * 应用(Application) * 1mm 100μm 10μm 1μm 100nm 10nm 1nm 0.1nm 肉 眼 XRD EPMA 光学显微镜 ED AES μD SEM TEM 原子探针 场离子显微镜 * Ruska 于1986年获“诺贝尔物理学奖”，肯定了电子显微镜对材料学、生物病毒学等领域的革命性贡献。 * * * JEM-2010透射 电子显微镜： 照明系统 成像放大系统 观察记录系统 * ??? 日本日立公司H－700 电子显微镜，配有双倾台 ，并带有7010扫描附件和 EDAX9100能谱。该仪器 不但适合于医学、化学、 微生物等方面的研究，由 于加速电压高，更适合于 金属材料、矿物及高分子 材料的观察与结构分析， 并能配合能谱进行微区成 份分析。 ● ? 分 辨 率：0.34nm● ? 加速电压：75KV－200KV● ? 放大倍数：25万倍● ? 能 谱 仪：EDAX－9100● ? 扫描附件：S7010 　 加速电压20KV、40KV、80KV、160KV、200KV可连续设置加速电压热场发射枪晶格分辨率 1.4?点分辨率 2.4?最小电子束直径1nm能量分辨率约1ev倾转角度α=±20度?? ?????β=±25度 * CM200-FEG场发射枪电镜(FEI) * JEM-2010透射电镜(日本电子） 加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率 1.94? * EM420透射电子显微镜（日本电子） 加速电压20KV、40KV、60KV、 80KV、100KV、120KV晶格分辨率 2.04?点分辨率 3.4?最小电子束直径约2nm倾转角度α=±60度????? ??β=±30度 * Philips CM12透射电镜 加速电压20KV、40KV、60KV、80KV 、100KV、120KVLaB6或W灯丝晶格分辨率 2.04?点分辨率 3.4?最小电子束直径约2nm；倾转角度α=±20度??????? β=±25度 CEISS902电镜 * 加速电压50KV、80KVW灯丝顶插式样品台能量分辨率1.5ev倾转角度α=±60度???????转动4000 * * * 加速电压20KV、40KV、80KV、 160KV、200KV可连续设置加速电压热场发射枪晶格分辨率 1.4?点分辨率 2.4?最小电子束直径1nm能量分辨率约1ev倾转角度α=±20度?? ?????β=±25度 * 观察微观世界最有力的工具--电子显微镜 * * * * * TiC grain chemistry variations across these grain boundaries Ti Al O C 扫描隧道显微镜图片 * 硅表面 由单个原子构成 的“IBM” 纳米算盘 * 本章小结 * 电子显微 镜的发展 及特点 光学显微 镜局限性 电磁透镜 不同型号 电镜 分辨率低 分辨率大小 及影响因素 应用 1、为什么要研究电子显微学？ 2、电子波有何特征？与可见光有何异同？ 3、分析电磁透镜对电子波的聚焦原理，说明电磁透镜的结构对聚焦能力的影响。 * 1、电磁透镜的像差是怎样产生的？如何消除和减少像差？ 2、说明影响光学显微镜和电磁透镜分辨率的关键因素是什么？如何提高电磁透镜的分辨率？ * * * 电子的波长可由德布罗意公式： 6） 电子的波长(The Wavelength of Electron Wave) 式中 h——普朗克常数； m——电子的质量； v——电子的速度， 它和加速电压之间存在下面的关系 * （1）、电压较低时：电子运动速度VC（光速）, m=m0(电子静止质量) h=6.62×10-34 焦耳秒；e=1.60×10-19 库仑；m0=9.11×10-31 千克 * 电子的波长 （2）、电压很高时： 例： U=40kV: ?=0.00601nm; U=100kV: ?=0.00370nm; U=200kV: ?=0.00251nm v ? c（光速），需进行相对论修正： 1）电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁场的力，使其会聚或发散，从而达到成象的目的。 由静电场制成的透镜—— 静电透镜 由磁场制成的透镜 —— 磁透镜