Q_320281NQY02.05-2020超净高纯试剂 氢氟酸溶液.pdf

G62 Q 江阴江化微电子材料股份有限公司企业标准 Q/320281NQY 02.05—2020 代替：Q/320281NQY 02.05—2017 超净高纯试剂 氢氟酸溶液 2020—01—02 发布 2020—01—15 实施 江阴江化微电子材料股份有限公司 发 布 Q/320281NQY 02.05—2020 前 言 本标准的编写格式符合GB/T 1.1-2009的规定。 本标准由江阴江化微电子材料股份有限公司负责起草。 本标准由江阴江化微电子材料股份有限公司批准。 本标准主要起草人：殷福华、顾玲燕。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ——Q/320281NQY02.05—2009、Q/320281NQY02.05—2010、Q/320281NQY02.05—2013、 Q/320281NQY02.05—2017。 I Q/320281NQY 02.05—2020 超净高纯试剂 氢氟酸溶液 1 范围 本标准规定了超净高纯试剂 氢氟酸溶液的分类、要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、 贮存及安全等。 本标准适用于超净高纯试剂 氢氟酸溶液。 用途：强酸性清洗腐蚀剂，可与氟化铵、硝酸、冰乙酸等配套使用，主要用于集成电路的生产。 分子式：HF 分子量：20.01 （按2018年国际相对原子量） 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 601 化学试剂 标准滴定溶液的制备 GB/T 602 化学试剂 杂质测定用标准溶液的制备 GB/T 603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 605 化学试剂 色度测定通用方法 GB/T 6682 分析实验室用水规格和试验方法 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T 9727 化学试剂 磷酸盐测定通用方法 GB/T 9728 化学试剂 硫酸盐测定通用方法 GB/T 9741 化学试剂 灼烧残渣测定通方法 GB/T 9742 化学试剂 硅酸盐测定通用方法 GB 15346 化学试剂 包装及标志 Q/320281NQY 03.01 液体颗粒计数仪颗粒测定通用方法 Q/320281NQY 03.02 ICP-MS等离子质谱仪测定通用方法 3 分类 氢氟酸溶液包括氢氟酸、47.9%氢氟酸、钛蚀刻剂。按照纯度不同分为EL级、VL级、UL级、SL级和 XL级。 4 要求 4.1 本试剂为无色，具有刺激性嗅味氟化氢的水溶液，具