EELS和XPS的功能区别.docxVIP

EELS 电子能量损失谱（electron energy loss spectroscopy) 原理： 将要研究的材料置于 电 子 显 微 镜中，用一束 动 能分布很窄的 电 子轰击。一部分入射 电 子经 历非弹性散射，其 动 能发生改变（通常是减小）。 动 能损失的机理有很多，包括： 电 子- 声 子相互作用，带内或带间散射，电子- 等 离 子 体相互作用，内壳层电子 电 离，及 切 连 科 夫 辐 射。 电 子的能量损失可以被 电 子谱仪定量的测量出来。内壳层电子 电 离引起的非弹性散射 对于分析材料的元素构成尤为有用。比方说， 碳原子的 1s 电 子 电 离能为 285eV。如果 285eV 的 动 能损失被探测到，则材料中一定存在碳元素。 EELS 与 EDX EDX（Energy-dispersive X-ray spectroscopy）也可以用与元素分析，尤其 善于分辨重元素。与 EDX 相比，EELS 对于轻元素分辨效果更好，能量分辨率也好出 1-2 个量级。由于 EELS 电 子 伏甚至亚电子伏的分辨率，它可以用于元素价态分析，而这是 EDX 不擅长的。 其他用途 EELS 也可以用来测量薄膜厚度。不难证明，没有经历非弹性散射的 电 子数目随 样品厚度指数衰减。而这部分 电 子的相对数目可以通过计算零损失峰的面积 I 与整个谱的 面积之比 I0 而获得。利用公式：I/I0 =Exp(?t/l），l 是非弹性散射长度，与材料特性有关； 样品厚度 t 因此可以计算出来。 xps（X 射线光电子能谱分析） XPS 的原理是用 X 射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被 光子激发出来的电子称为光电子。可以测量光电子的能量，以光电子的动能/束缚能 binding energy,(Eb=hv 光能量-Ek 动能-w 功函数)为横坐标，相对强度（脉冲/s）为纵坐标 可做出光电子能谱图。从而获得试样有关信息。 主要用途： XPS 被广泛应用于分析 无 机 化 合 物、 合 金、 半 导 体、 聚 合 物、 元 素、 催 化 剂、 玻 璃、 陶 瓷、 染 料、 纸、 墨 水、 木 材、 化 妆 品、 牙 齿、 骨 骼、 移 植 物、生物材料、 油 脂、 胶 水等。 XPS 可以用来测量： ，元素的定性分析。可以根据能谱图中出现的特征谱线的位置鉴定除 H、He 以外的所有 元素。 ，元素的定量分析。根据能谱图中光电子谱线强度（光电子峰的面积）反应原子的含量 或相对浓度。 ，固体表面分析。包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表 面电子的电子云分布和能级结构等。 ，化合物的结构。可以对内层电子结合能的化学位移精确测量，提供化学键和电荷分布 方面的信息。 ，分子生物学中的应用。Ex：利用 XPS 鉴定 维 生 素 B12 中的少量的 Co。 两者的区别： XPS 可以测出价态，但是需要你自己通过 deconvolution 的方法进行处理，然后查标准 XPS 数据，找出你的元素的两种或三种价态所对应的能量值（这个标准数据咱材料精华版 里有，你可以自己下载），最后按积分面积比，求出的就是元素的各种价态的化学比例。 EELS 与 XPS 测试的原理不一样，是测试通过测试原子中 电 子能量的损耗，而来判断元素 的种类和状态。一般来说由于 EELS 通常和 HRTEM 联用，其分辨率和精度都要高一些， 但是样品制备比较困难。XPS 较为常见，但其结果易受样品表面状态的影响，因为 X 射线 能穿透样品表面的深度很有限，几个 nm 左右，所以表面污染会造成很大的误差。 xps 属于表面分析，测试深度10nm,对样品要求不高。eels 和 电 镜差不多，有些 eels 就 是 TEM 的一个附件，所以要求制样和电镜一样，需要薄晶样品。