阻抗匹配rf系统.pptxVIP

Impedance Match of RF System 阻抗匹配RF系统(matching box);;Impedance Match阻抗匹配;在中学物理电学中曾讲述这样一个问题：把一个电阻为R 的用电器，接在一个电动势为E、内阻为r 的电池组上（见图1），在什么条件下电源输出的功率最大呢？当外电阻等于内电阻时，电源对外电路输出的功率最大，这就是纯电阻电路的功率匹配。;电抗电路要比纯电阻电路复杂，电路中除了电阻外还有电容和电感。;阻抗匹配的关键是前级的输出阻抗与后级的输人阻抗相等;什么是驻波效应？;影响阻抗匹配(有反射波的原因)的有以下??点： 高压传导绝缘体被击穿或打破。 由于热传导反射波增大 噪音影响问题 射频发生器受损。 射频干扰;Standing Wave Ratio (SWR)驻波比:;如图：传输线越长越长，超过1/2波长，如果没有匹配的话，反射波越明显effects of standing waves are significant 如果传输线越短，少于1/16波长的话，可以忽略反射。 但是对于不同频率的射频器，频率越高，要求的传输线越短。而事实上我们传输线都是超过1/2波长的，所以我们必须匹配器。再者我们的负载阻抗也不一定是50Ω.;LC谐振回路是高频电路里最常用的无源网络， 包括并联回路和串联回路两种结构类型。  利用LC谐振回路的幅频特性和相频特性，不仅可以进行选频，即从输入信号中选择出有用频率分量而抑制掉无用频率分量或噪声(例如在选频放大器和正弦波振荡器中) 也可以用来与射频频率匹配。;阻抗电路的串—并联等效转换 由电阻元件和电抗元件组成的阻抗电路的串联形式与并联形式可以互相转换， 而保持其等效阻抗。;PECVD,ETCH所使用的matching box匹配等效电路：;我们RF系统中提到的Pfwd和Pref就是正向功率和反射功率。 所以我们要做到匹配就是要使得Pfwd为最大，Pref=0;RF系统组成:;RF发生器：;Match box的基本结构：;反射系数检查器：;中央处理单元电机控制器：;电容旋转电机的结构示意图：;负载单元：;Load：使用电容来匹配，作用：匹配电阻;RF在机台上的应用与监控;Question： 反射功率Vref过大的的原因？对工艺影响有多大？ Vpp降低的原因？对工艺影响有多大？;Thank You !