透射电子显微镜北京航空航天大学.pptxVIP

透射电子显微镜电 子探 针入射电子束X 射 线二次电子扫描电镜反射电子轫致辐射吸收电子样 品阴极发光衍射电子透射电子俄歇电子俄歇电子谱仪透射电镜电子束与物质的相互作用透射电子显微镜的主要功能成像： 明场像，暗场像 格子像，原子像衍射电子衍射 X射线衍射多晶电子衍射单晶电子衍射相 似 性差 异 性1.波的叠加性导致： 布拉格公式 结构因子 消光规律2.衍射花样类型： 单晶花样 多晶花样3.单晶花样能确定晶体位向1.单原子散射的特性： （E）： 受原子核散射 （X）：受核外电子散射2.衍射波长及衍射角： （E）：λ＝10-3 nm，衍射角2θ从0～3° （X）：λ＝10-1 nm，衍射角2θ从0～180°3.衍射斑点强度4.辐射深度：(E)：低于1μm数量级 (X)：低于100μm数量级5.作用样品体积：(E)： (X)：6.晶体位向测定精度： (E)：用斑点花样测定，约±3° (X)：优于1°注：（E）表示电子衍射，（X）表示X射线衍射。电子衍射与X射线衍射的比较 电子衍射花样的分析包括两个方面： 1）衍射几何：电子束经晶体散射后所产生的干涉线或斑点的位置； 2）衍射强度：即电子束经晶体散射后所产生的干涉线或斑点的强度。从衍射几何方面的分析可获得大量的晶体学信息，本部分重点讨论衍射斑点的形成原理与其物理意义。简单晶体对X射线与电子束的衍射1、原子群对X射线的散射 在X射线传播中，如与一群原子相遇，则每个原子均可视为一个点光源，向四周发出散射X射线。N个原子在点P的散射波总振幅Ep为：简单晶体对X射线与电子束的衍射1、原子群为简单晶体的情况 这里所说的简单晶体是指由同种原子构成的，每个晶胞只含1个原子的晶体。设a、b、c为晶体的3个基矢，沿3基矢的原子数目各为M、N、T（原子总数为MNT）。简单晶体对X射线与电子束的衍射原子[mnt]的位矢rmnt为：等比级数有：M=5时的干涉函数干涉函数：衍射矢量方程及厄瓦尔德图解 衍射矢量方程衍射矢量P1CP2厄瓦尔德图解：衍射矢量方程与倒易点阵结合，表示衍射条件与衍射方向反射球（衍射球，厄瓦尔德球）：在入射线方向上任取一点C为球心，以入射线波长的倒数为半径的球。?产生衍射的条件：若以入射线与反射球的交点为原点，形成倒易点阵，只要倒易点落在反射球面上，对应的点阵面都能满足布拉格条件，衍射线方向为反射球心射向球面上其倒易结点的方向。利用厄瓦尔德图解释晶体的衍射现象1、劳埃法：单晶体试样固定不动，采用连续X射线M=5时的干涉函数干涉函数：绘制倒易点阵时以 标定HKL的点位，而干涉函数的展宽则为“倒易点”的形状。前面讨论曾指出，只有当入射束与点阵平面的夹角θ正好满足布拉格公式时才有可能产生衍射，否则衍射强度为零 。实际并非如此，一则真实晶体的大小是有限的，二则晶体内部还含有各式各样的晶体缺陷，因此衍射束的强度分布有一定的角范围，相应的倒易阵点也是有一定的大小和几何形状的点。这意味着在尺寸很小的晶体中，倒易阵点要扩展，扩展量与晶体的厚度（考虑一维的情况）成反比，当厚度为t，扩展量等于2/t，倒易阵点扩展为倒易杆。考虑三维空间的情况，不同形状的实际晶体扩展后的倒易阵点也就有不同的形状。对于透射电子显微镜中经常遇到的样品，薄片晶体的倒易阵点拉长为倒易“杆”，棒状晶体为倒易“盘”，细小颗粒晶体则为倒易“球” 。 晶体形状的倒易阵点扩展 电子衍射与电子衍射仪★薄晶体的电子衍射特征： ⑴厄瓦尔球半径比倒易矢量大几十倍 ⑵衍射角很小，衍射线集中在前方 ⑶倒易点被拉长为倒易杆，倒易杆方向垂直于薄膜厚度★以上三个原因决定使得电子束相对晶体任何取向，在倒易原点附近都会有许多倒易杆与球面接触或交截，从而可以得到许多衍射线。衍射线的方向为连接球心和倒易杆与球的交点，如图所示电子显微镜中的电子衍射电子透过试样后，除一束透射束外，还有衍射角各异的衍射束。他们分别在物镜的后焦面上形成一个中心斑点（透射斑）和多个衍射斑。每个衍射斑点都是一束2θ角相同的衍射线被物镜聚焦后形成的。然后这些斑点作为新的光源重新干涉，在物镜的像平面上成像。电子显微镜中的电子衍射★有效相机常数 电镜中的衍射花样是物镜后焦面的衍射斑点经过几级透镜放大后在底片上成的像，则相机长度L不能象电子衍射仪那样简单的计算为试样至底片的距离，而应根据后焦面上衍射斑点被放大的倍数，折算成衍射仪相机长度，成为有效相机长度L′.(a)第一幅衍射花样的形成和选区电子衍射原理 (b)三透镜衍射方式原理图（不考虑磁转角） 电子显微镜中的电子衍射令图中O′P′距离为r,则再利用布拉格公式，得到电子显微镜中的电子衍射 r 经过中间镜和投影镜放大后在底片上的距离R为即 其中， 电子显微镜中的电子衍射所以其中 即为电子显微镜的有效相机长度，称 为电子显微镜的