材料学中常用分析的方法第二讲 XPS 有关金属材料分析手段.pptVIP

溅射制备的TiOx/Me1/Ag/Me1/TiOx/glass薄膜的XPS谱分析结果 热处理前, Me1Ox-Ag-Me1各层间的混合比较严重 溅射制备的TiOx/Me1/Ag/Me1/TiOx/glass薄膜的XPS谱分析结果 热处理后, Me1Ox-Ag-Me1各层间的混合不严重 CdTe/InSb薄膜生长 过程的XPS监测 (表层成分监测) (a)RT, Sb、In无显著扩散(b)500K, Sb、In向表面扩散 尤其是In ??????????? ??? ??? ??? ??????????? ??? ??? ??? 改变接收倾角 (takeoff angle)可以提高表面灵敏度 ? 小时，表面的贡献大 最表层信号的贡献量 ? AlGaAs表面氟氧化层的XPS谱 (改变接受倾角) Si表面氧化层的XPS谱 (改变接受倾角) Si片表面总存在有1.6nm左右的氧化层.图中右侧的双峰属于未氧化的Si0的2p信号,而左侧的宽峰属于氧化的Si+4的2p信号 Si0-2p Si+4-2p 高合金钢表面腐蚀产物的XPS分析 (改变倾角) 最表面 近表面 XPS的特点* 表面、界面成分分析能力* 较好的元素价态分析能力* 成分深度的分析能力 Cr/Ni多层膜材料的成分剖面