第四节离子注入表面改性技术.pptVIP

第四节 离子注入表面改性技术;什么是离子注入 离子注入就是将工件放在离子注入机的真空靶室中，在几十至几百千伏下，把所需元素离子注入工作表面，形成一层在组织和结构上都不同于底材注入层，从而改善材料性能;Advantages;离子注入过程是一个非平衡过程，高能离子进入靶后不断与原子核及其核外电子碰撞，逐步损失能量，最后停下来。停下来的位置是随机的，大部分不在晶格上，因而没有电活性。;Disadvantages;LSS理论——对在非晶靶中注入离子的射程分布的研究;核碰撞：能量为E的一个注入离子与靶原子核碰撞，离子能量转移到原子核上，结果将使离子改变运动方向，而靶原子核可能离开原位，成为间隙原子核，或只是能量增加。 电子碰撞：指的是注入离子与靶内白由电子以及束缚电子之间的碰撞。注入离子和靶原子周围电子云通过库仑作用，使离子和电子碰撞失去能量，而束缚电子被激发或电离，自由电子发生移动。 ;核碰撞：能量为E的一个注入离子与靶原子核碰撞，离子能量转移到原子核上，结果将使离子改变运动方向，而靶原子核可能离开原位，成为间隙原子核，或只是能量增加。;电子碰撞;; 离子注入对材料结构的影响 1、大分子链被打断成为活性自由基，自由基之间相互结合生成三维网状交联结构。随着电子阻止能量损失的增加，高分子材料的交联度也相应增加，从而引起高分子材料力学性能的变化。这种力