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第七章 微细加工技术;第七章 微细加工技术ji2222;7.1 微机械与微细加工概述 7.1.1 微机械 微机械或微机电系统（MEMS）是指具有很小外形轮廓尺度的微型机械电子系统。 随着微/纳米科学与技术的发展，以形状尺寸微小或操作尺度极小为特征的微机械成为人们在微观领域认识和改造客观世界的一种高新技术。 一般认为，微机械依其特征尺寸可以划分为：小型机械（1mm-10mm），微型机械（1um-1mm）以及纳米机械（1nm-1um）。从广义来讲，微机械包括微小型机械和纳米机械。; 微机械的基本特征： （1）体积小、重量轻、精度高。 （2）能耗小、响应快、灵敏度高。 （3）性能稳定、可靠、一致性好。 （4）多功能化和智能化。 （5）适于大批量生产，制造成本低廉 。 微机械主要产品主要有： （1）微构件：微轴、微孔、微探针、微齿轮、微连杆等??? （2）微传感器：压力传感器、位移传感器、温度传感器等； （3）微执行器：微电机、微泵、微开关、微阀等； （4）专用的微机械器件及系统：如人造器官、微型手术机器人、微光学系统、微型飞机等。 ;微型弹簧;在人的头发丝上微细加工的40um的方孔;微细加工的涡轮转子;;; 7.1.2 微细加工技术