第三章扫描电子显微分析技术.pptVIP

第三章 扫描电子显微分析技术 ;反射式光学显微镜;3.1 扫描电镜的结构;这是一台扫描电镜结构原理图;看一下镜筒（电子光学系统）的组成;电子枪;日本电子的JSM-6360系列扫描电镜;扫描电镜的成像过程;扫描电子显微镜的放大倍数 ;扫描电镜图像的放大过程;3.1.2 扫描电镜的电子枪 ;3.1.3 透镜系统;扫描电镜物镜部分结构示意图 ;影响扫描图像质量的电子束参数 ;3.1.4 图像检测、显示、记录与控制系统;;3.1.5 显示、记录与控制系统;灯丝电流:随着灯丝电流的加大，图像亮度会逐渐提高，当灯丝电流增大到一定大小时，图像亮度饱和不再增大，灯丝电流应工作在饱和点上，使图像稳定。;3.1.6 真空系统及电源系统 ;这是机械泵的工作原理图;这是扩散泵的工作原理图;3.2 扫描电镜的图像解释; 二次电子象衬度是入射电子束从试样表层不同部位激发的二次电子数量变化的反映。电子束入射条件一定（加速电压、电子束流及束斑大小），二次电子发射量与试样表面形貌（凸凹、特别是尖端棱角）、组成元素、电子束相对试样入射角等有密切关系。即决定于倾斜效应、边缘效应、原子序数效应等。;二次电子发射量与试样倾斜程度的关系;这是氧化铝晶体的二次电子像;3.2.2 边缘效应 入射电子束照射如下图那样的试样边角、尖端或边缘时，二次电子可从试样侧面发出，即和一般的起伏部分相比二次