第八章扫描电子显微分析.pptVIP

可以清晰分开。 其缺点是：X射线的利用率低，适用范围有限。在图8-11中，晶体与光源之间的距离l总是等于2Rsinθ，代入布拉格方程可得： λ=dl/nR 令k = d/nR 为常数。 则有： λ= k l 从上式可见：在直进式中，晶体和光源的距离l直接与波长λ成比例，测波长很方便。 波谱仪的主要优点是波长分辨率很高。例如，VKβ(0.228434nm)、CrKα1 (0.228962nm) 和CrK α2(0.228351nm) 三根谱线 8.4 能谱仪结构及工作原理 1、能谱仪(EDS)是能量色散谱仪的简称，可作为扫描电镜或透射电镜的附件。它可用于在观察表面形貌或内部结构的同时可对感兴趣的微区进行化学成分的分析。 2、原理：利用X光量子从主量子数为n1的层上跃迁到主量子为n2的层上时有特定的能量： △E = En1 – En2 如图8-12所示。 8.4.1 半导体探测器（探头） 探测器是关键部件，决定能谱仪分析元素的范围和精度。但须在液氮温度下使用。 P122 近期牛津仪器公司推出的Link-Utracool超冷冻无忧EDX探测器，无需液氮、无需维护，且分辨率可达133eV/MnKα ，是目前最先进的探测器。 8.4.2 多道脉冲高度分析器（MCA） 1、MCA的作