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平面度和粗糙度的区别
类别
项目
平面度
粗糙度
平面度是指基片具有的宏观凹
表面粗糙度,是指加工表面具有的
凸高度相对理想平面的偏差。
较小间距和微小峰谷不平度。其两
平面度误差是将被测实际表面
波峰或两波谷之间的距离(波距)
定
义
与理想平面进行比较,两者之
很小(在 1mm 以下),用肉眼是
间的线值距离即为平面度误差
难以区别的,因此它属于微观几何
值;或通过测量实际表面上若
形状误差。表面粗糙度越小,则表
干点的相对高度差,再换算以
面越光滑。表面粗糙度的大小,对
线值表示的平面度误差值
机械零件的使用性能有很大的影响
表示符号
所属类别
测量方法
形位公差
尺寸特征
1、平晶干涉法
1.比较法
平晶干涉法用光学平晶
将被测量表面与标有一定数值
的工作面体现理想平面,直接
的粗糙度样板比较来确定被测表
以干涉条纹的弯曲程度确定被
面粗糙度数值的方法。
比较时可以
测表面的平面度误差值。
采用的方法 : Ra 1.6
μm时 目测
2、光波干涉法
Ra1.6~Ra0.4 μ m 时用放大镜 Ra
光波干涉法常利用平晶
0.4 μ m时用比较显微镜。
进行,可以把干涉图案作为被
特点:该方法测量简便,使用于车
检验表面的等高线,因此可以
间现场测量,常用于中等或较粗糙
画出该表面的形状。
表面的测量。
3、打表测量法
2.触针法
打表测量法是将被测零
利用针尖曲率半径为
2 微米左
件和测微计放在标准平板上,
右的金刚石触针沿被测表面缓慢滑
以标准平板作为测量基准面,
行,金刚石触针的上下位移量由电
用测微计沿实际表面逐点或沿
学式长度传感器转换为电信号,经
几条直线方向进行测量。
放大、滤波、计算后由显示仪表指
4、液平面法
示出表面粗糙度数值,也可用记录
液平面法是用液平面作
器记录被测截面轮廓曲线。一般将
为测量基准面,液平面由“连
仅能显示表面粗糙度数值的测量工
通罐 ”内的液面构成, 然后用传
具称为表面粗糙度测量仪,同时能
感器进行测量。
记录表面轮廓曲线的称为表面粗糙
度轮廓仪(简称轮廓仪。这两种测
测量仪器
应用行业
5、三坐标测量法
天准公司自主研发生产的
CMU 及 CMG 系列三坐标测量
机在测量平面度时可以通过测
量软件自动进行平面度误差计
算与分析, 完全不需人工计算,
大大提高测量效率和准确率。
测量前也可在测量软件中设定
公差值,当测量结果不在平面
度公差带时,超差数据可以用
不同颜色显示(颜色可以自行
设定)。另,测量软件还有 SPC
统计分析及 CAD 图纸导入等
功能。
偏摆仪、 百分表、 数据采集仪、影像测量仪、三坐标测量机
主要针对平面型工件: PDP 背板,平板型冲压件,大尺寸硬
质塑料等行业
量工具都有电子计算电路或电子计
算机,它能自动计算出轮廓算术平
均偏差 Rα,微观不平度十点高度
RZ ,轮廓最大高度 Ry 和其他多种
评定参数,测量效率高,适用于测
Rα 为 0.025 ~ 6.3 微米的表面粗糙度。
3.光切法
双管显微镜测量表面粗糙度,可用作 Ry 与 Rz 参数评定, 测量范
0.5~50
4.干涉法
利用光波干涉原理 (见平晶、激光测长技术 )将被测表面的形状误差以干涉条纹图形显示出来,并利用放大倍数高 (可达 500 倍)的显微镜将这些干涉条纹的微观部分放大后进行测量,以得出被测表面粗糙度。应用此法的表面粗糙度测量工具称为干涉显微镜。这种方
法适用于测量 Rz 和 Ry 为 0.025 ~
0.8 微米的表面粗糙度。
表面粗糙度仪、表面光洁度仪、表
面粗糙度检测仪、粗糙度测量仪、
粗糙度计、粗糙度测试仪、干涉显
微镜、粗糙度轮廓仪、双管显微镜
广泛应用于各种金属与非金属的加
工表面的检测,该仪器是传感器主
机一体化的袖珍式仪器,具有手持
式特点,更适宜在生产现场使用
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