PSD位置传感器实验报告.pdfVIP

. 报告者： 1004520233余敏 同组人： 1004520235张昕煜 1004520209谢清楠 实验十 PSD 位置传感器实验 一、实验目的： 了解 PSD光电位置敏感器件的原理与应用 二、基本原理： PSD为一具有 PIN 三层结构的平板半导体硅片。其断面结构如图 10— 1 所示，表面层 P 为感光面，在其两边各有一信号输入电极，底 层的公共电极是用与加反偏电压。 当光点入射到 PSD表面时， 由于横 向电势的存在，产生光生电流 I 0 ，光生电流就流向两个输出电极，从 而在两个输出电极上分别得到光电流 I 1 和 I 2 ，显然 I 0 I 1 I 2 。而 I 1 和 I 2 的分流关系则取决于入射光点到两个输出电极间的等效电阻。