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薄膜吸收与加热 薄膜表层熔融 热能传导 部分熔融 接近完全熔融 完全熔融 激光照射 多晶硅晶化过程 ELA工艺技术-晶化机制 ELA工艺技术-主要参数 Energy Density Vs Melt regime * * * ELA基础知识介绍 Outline 1. ELA与LTPS制程 2. 准分子激光退火系统 3. ELA工艺技术 4. ELA工艺测试 ELA简介 准分子就是一种处于激发态的复合粒子，在标准状态下，即在基态时，它处于分离状态，而在激发态处于分子状态。 常见的准分子有：XeF*、KrF*、ArF*、XeCl*、XeBr* ELA简介 为什么选用准分子激光？ 准分子激光对应的紫外波段，a-Si薄膜对紫外光有大的吸收系数 紫外光的注入深度较小，可以减小激光对玻璃基板的作用 ELA与LTPS制程 ELA与LTPS制程 ELA与LTPS制程 2. 准分子激光退火系统 (2) 准分子激光原理、结构及参数 (1) 准分子激光退火系统的结构 (3) 光学系统构成简介 (4)退火腔结构简介 ELA系统基本组成 准分子激光退火系统 TCZ JSW ELA System overview 准分子激光退火系统-ELA System overview 准分子激光原理、结构及参数-激光器原理 准分子激光原理、结构及参数-激光器原理 准分子激光原理、结构及参数-