EDS能谱检测其原理及应用.ppt

 EDS原理及应用  EDS EDS可以与EPMA，SEM，TEM等组合，其中SEM－EDS组合是应用最广的显微分析仪器，EDS的发展，几乎成为SEM的表配。是微区成份分析的主要手段之一。 能谱仪：EDS (Energy Dispersive Spectrometer) ?能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。 ?对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。 ?能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。 ?检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。 能谱的特点 光子能量检测过程 X射线光子进入锂漂移硅Si(Li)探测器后，在晶体内产生电子一空穴对。在低温下，产生一个电子－空穴对平均消耗能量为3.8ev。能量为E的X射线光子产生的电子－空穴对为N＝E/3.8 。 例如：MnKa能量E为5.895KeV，形成的电子－空穴对为1550个。CaK: 3.7KeV，约产生1,000电子－空穴对。 电子-空穴对形成电压脉冲信号，探测器输出的电压脉冲高度对应X射线的能量。 X能谱仪检测原理 定性分析 X射线的能量为E＝hγ h为普朗克常数，γ为光子振动频率。 不同元素发