传感检测技术与其应用第7章.ppt

传感检测技术及其应用第二篇 典型传感器的原理及其应用技术;第7章 压电式传感器;第1节 压电效应及压电材料 ; 与压电效应相反，如果将具有压电效应的晶体置于电场中，其几何尺寸也发生变化，这种由于外力作用导致物体机械变形现象称为逆压电效应。 ;光轴：z轴，与晶体纵轴方向一致。光线沿z轴方向通过晶体不发生双折射。沿光轴的作用力不产生压电效应，故又称为中性轴。 电轴：x轴，通过两个相对的六角棱线并垂直于光轴的轴线。垂直于此轴的晶面上有最强的压电效应。;机械轴：y轴，垂直于x轴和z轴所在平面的轴线。 在电场作用下，y轴具有最明显的机械变形。石英 晶体z轴仅一个，x轴和y轴各有3个。;Date;横向压电效应：沿y轴施加作用力，晶体表面产生电荷的现象。电荷仍出现在与x轴相垂直的表面上。产生的电荷量为;根据石英晶体轴对称的条件，dy=?dx，从而：; 天然或人工合成石英晶体（SiO2），具有良好的机械强度和压电效应。压电系数较小（dx =2.3?10-12C/N），但压电系数的温度稳定性好。在20～200?C内，温度每升高1?C，压电系数仅减小0.016%，升高到200?C 时，仅减小5%，达到573?C 时，失去压电特性，此温度称为石英的居里点。介电常数为4.5。 ; 其它压电晶体有铌酸锂（LiNbO3），居里点1210?C， 具有良好的压电性，适用于高温环境，但比石英脆， 抗冲击性差。 钽酸锂（LiTaO3），居里点666?C，压电常数为石 英的3倍。 酒石酸钾钠（NaKC4H4O6?4H2O），压电系数较大 （dx=3?10-9 C/N ），但机械强度低，机械强度、电 阻率、居里点均较低，易受潮，性能不稳定。 ;2.多晶压电陶瓷 （压电陶瓷）;②锆钛酸铅（PZT）系列压电陶瓷 ;Date;Date;第2节 压电式传感器的测量电路 ;若考虑负载（测量电路），等效电路如下：;二、压电元件放大电路 ;Ca ;输入端电压幅值：;，则：;若压电器件上作用静态力（? = 0），Uim和ku均等于0。即压电传感器不能测量静态力。 若被测量是准静态量，必须增大测量回路时间常数，以维持(?RC)2 1，减少?对Uim和ku的影响。显然增加电容C会降低灵敏度，而一般Ra很大，故只有增加Ri。Ri越大，低频响应越好。下限频率：; 对动态测量，?较大，易满足(?RC)2 1，此时Uim和ku 近似与? 无关，即压电传感器具有良好的高频响应特性。 ;电荷放 大电路;若A足够大（一般100dB以上），则： (1+A)Cf Ca + Cc + Ci ; 由于采用电容负反馈，电荷放大器对直流工作点相当于开环，因此零点漂移较大。为了减小零漂，使电荷放大器工作稳定，一般在反馈电容两端并联一个大的反馈电阻Rf（约108～1012 ?），以稳定放大器的直流工作点。;＊能量转换型（发电型）传感器； ＊体积小，重量轻，刚性好，可以提高其固有频率， 得到较宽的工作频率范围； ＊灵敏度高，稳定性好。对应用纵向压电效应的传 感器，电荷量与晶体的变形无关，因而灵敏度与 传感器刚度无关； ＊有比较理想的线性，且通常没有滞后现象； ＊低频特性较差，主要用于动态测量； ＊存在横向效应，影响测量结果； ＊应用中要求采取严格的绝缘措施，并采用低电容、 低噪声电缆； ＊工作原理可逆。;三、测量电路;第3节 压电式传感器应用;+ + + + +;二、压电传感器应用;Date;2.压电式压力传感器;Date;3.压电式加速度传感器;Date;4.应用示例