山东建筑大学——传感器35章磁敏传感器.pptxVIP

传感器技术及应用机械092011～2012第二学期2012年3月5.6 磁敏传感器半导体磁敏传感器：可将磁场强度参数转变为电参数的传感器。种类：霍尔传感器、磁敏电阻传感器、磁敏二极管、磁敏晶体管等。特点：可实现非接触检验，寿命长、可靠性高。从直流（0Hz）到高频（数十GHz）其特性完全一样。不仅能够测量运动磁场强度,也能测量静止的磁场。能够使器件小型化和集成化。 一、霍尔元件霍尔电压形成的定性说明(a)磁场为0时，电子在半导体中的流动;(b)磁场不为0，电子在劳伦兹力作用下发生偏转;(c)电荷积累达到平衡时,电子在流动二、 磁敏电阻磁敏电阻是一种电阻随磁场而变化的磁敏元件，也称MR元件。它的理论基础为磁电阻效应。1、工作原理磁电阻效应：将载流导体（金属或半导体）置于外磁场中，不但产生霍尔效应（电势或电场），同时电阻也会随磁场而变化。这种现象成为磁敏电阻效应，简称磁电阻效应。 2. 作用机理 外磁场改变了导体载流子迁移的路径，致使与外界电场同方向的电流分量减小，等价于电阻增大载流子迁移率物理磁阻效应磁敏元件电阻率相对变化几何磁阻效应几何形状电阻相对变化（1）物理磁阻效应具有两种载流子的材料通电后，电子和空穴电流密度分别为 jn 和jp ，总电流密度j有外磁场H时，jn 与 jp 背向偏转j jn + jp相当于?增大无外磁场H时，j=jn + jp磁敏电阻材料当材料中仅存