光伏电池制备工艺项目三扩散.ppt

太阳电池磷扩散方法;二、扩散;*;扩散气氛场结构示意图;常用扩散的液态源——三氯氧磷（POCl3） ;POCl3磷扩散原理; 生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反应式如下： 由此可见，在磷扩散时，为了促使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面的腐蚀作用，必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气 。;一、工艺、质量要求;二、原材料和器件;扩散炉、 超净台、 石英真空吸笔、 石英舟、 舟叉 石英舟托 四探针测试仪;三、扩散工艺;1、准备工作;（2）更换源瓶（一般60-70批次换源）; 3）把进气、出气阀拧紧，源瓶小心放回包装箱，搬到扩散间准备装源。 4）把源瓶放入恒温槽（一般20℃左右），水位离源瓶顶部1CM左右水位，确定装源瓶时不能带入纸屑等杂物（包括贴在源瓶上的标签），以防把恒温槽循环泵的进出水口堵塞，把进气管和出气管接好。 5）先在PLC控制面板上把小氮出气的电磁阀打开，把源瓶出气阀慢慢的拧开，目的释放瓶内压力。 6）然后在PLC控制面板上把小氮进气的电磁阀打开，设定小氮流量（500）。 7）把源瓶进气阀慢慢的拧开，不用眼睛看，手可以感觉到冒泡引起的震动（注意换源时重点保护的是眼睛），慢慢拧到全开。 8）把电源柜门关上。; 9）看P