MEMS技术 第四讲 电子零件原理.ppt

MEMS和微系统设计;课程内容;第4讲主要内容 (3);电容变化 静电力;图2-17电容式微传感器的基本结构 ; 式中 A为极板面积 为真空介电常数 为极板间介质的相对介电常数 当介质为空气时， ； 为两极板间距离; 间隙变化型电容式微传感器;略除高阶无穷小项，得;采用差动电容结构可以大大减小传感器输出的非线 性：; 在小位移情况下，外加作用和成比例关系，可见电容的倒数差及电容的差除和都与输入作用力成线性关系。 式(2-14)表明，用电容的差除和表达传感器的性能，其输出还要受到介质介电常数的影响。 式(2-15)表明电容差除和只受电容极板间隙和间隙变化的影响。目前，硅电容变送器普遍采取式(2-15)的方法来描述传感器的性能。 ;其他的电容变化形式; A example: calculate to C and the shift of C;电容readout—位置检测和速度检测;Matched Air-Gap Reference Capacitors ;Simple Capacitor Divider (con.);Capacitor Divider With Differential Ex