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电子工厂高级别 洁净室的建造 文 件 2017年版本 电子工厂高级别洁净室的建造特点 高级别洁净室在电子工厂中的应用 本文所指的高级别洁净室是指洁净室的洁净度高（ISO-2、3、4、5级），生产环境温湿度的精确度高，其他一些环境参数，例如：静压差、静电、微振、电磁、噪声、照度等参数都必须按生产工艺的要求进行严格控制的洁净室。这类面积大、环境参数要求高的洁净室广泛地应用在电子工业厂房中，如：大规模集成电路（LE1）、超大规模集成电路（VLS1）等微电子产业的电子工厂以及彩色薄膜液晶显示器（TFT-LCD);发光二极管（LED）以及等离子技术（PDP）等光电子产业的电子工厂之中。 当今世界，微电