硅烷燃烧塔使用说明书(1).pdfVIP

苏州江川环保科技有限公司废气处理设备操作保养说明书 硅烷燃烧塔废气净化系统设备使用说明书 一、硅烷燃烧塔净化系统简介 工艺原理：为减少硅片表面反射，提高电池的转换效率，需要沉 积一层氮化硅减反射膜。多数太阳能电池生产企业采用 PECVD （即 等离子增强型化学气相沉积）设备制备减反射膜，将硅片放置在 PECVD 设备内，通入的 SiH4 和 NH3 经高频光放电反应生成 Si3N4 ， 并沉积在硅片表面形成固态薄膜， 即氮化硅薄膜。 该环节产生的废 气主要为 SiH4 和 NH3 废气，针对该废气的化学性质， 设计先将 SiH4 送至不锈钢燃烧罐内温和的燃烧，再将燃烧后的产物 SiO2 以及 NH3 通过一台 2 级喷淋洗涤塔进行吸收处理。 吸收处理工艺为： SiH4 和 NH3 废气在风机的牵引下进入燃烧筒 内，同时燃烧筒内稳定持续的充入适当比例的压缩空气和氮气， 以保 证硅烷在安全可控范围内温和的燃烧。 燃烧产生的二氧化硅粉末大部 分在重力作用下沉降到燃烧筒底部聚集， 剩余部分二氧化硅粉末在风 机牵引作用下通过风管进入到洗涤塔一级喷淋系统， 在喷淋室内二氧 化硅粉末以 0.8m/s 左右的速度缓慢流动，与自上而下喷淋出的水雾 膜层相接触， 沉降的设备底部。 残余的微量二氧化硅粉末进入到洗涤 塔二级喷淋系统内， 由于二级喷淋系统内加有泰勒花环填充料， 增大 了气液接触面积，使得残余的二氧化硅粉末被洗涤，固气得以分离， 经净化后的洁净气体高空排放。 1 苏州江川环保科技有限公司废气处理设备操作保养说明书 二、系统提示 请仔细阅读以下所有的提示并以此为标准进行系统的操作。 1、废气净化设备在使用运行前， 认真检查各设备电源是否配备正确， 并严禁人员接近。 2、检查风机的噪声与振动，检查水泵的流量与扬程。 3、检查硅烷燃烧塔的循环水箱水位， 当液位低于标记时应立即补充。 4、检查硅烷燃烧罐氮气和压缩空气的流量。 三、操作说明 1、启动步骤： ①开启电源总控制系统； ②将硅烷燃烧塔补水系统调制自动补水； ②开启循环泵浦，启动约 60 秒后，风机启动； 2、正常运转检查事项 ①检查风机是否运转正常，风机开启 30 分钟后，检查油浴式轴承座 2 苏州江川环保科技有限公司废气处理设备操作保养说明书 的升温状态在 60-80℃为正常运转； ②检查风机有无异常磨擦声，手感风机外壳无明显振动； ③检查循环泵是否正常运转，是否漏水；喷头喷水是否正常； ④检查各阀是否在正确开关位置； ⑤检查水泵工作情况； ⑥检查硅烷燃烧罐氮气及压缩空气流量计流量指数。 3、停机注意事项 ①检查各设备工作正常与否，并提出设备在停机时的保养注意事项； ②停机后应对加药箱中的药液进行补充，风机轴承座换油或补足油 量，水泵密封处加固，清除塔体中的沉淀物，检查喷头是否有杂物堵 塞等工作； ③检查各进出水阀门是否在正常工作状态下，并开闭灵活有效； ④停机前检查电控箱各指示灯应呈开启状态，绿灯亮。 4、停机步骤： ①关闭氮气及压缩空气阀门； ②关闭自动补水阀门； ③关闭风机； ④打开塔体水箱中排污水阀门，使水位下降 1/4； ⑤关闭循环水泵； ⑥关闭系统电源。 四、常规保养及