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北京邮电大学 硕士学位论文 MEMS器件设计仿真系统的研究与实现 姓名：汪鹏 申请学位级别：硕士 专业：机械电子工程 指导教师：万江文●●●●，●●J MEMS器件设计仿真系统的研究与实现 作者： 汪鹏 学位授予单位：北京邮电大学 参考文献(43条) 1.参考文献 2.S Fatikow.U Rembold Microsystem technology and microrobotics 1997 3.L S Fan.Y C Tai.R S Muller IC-processed electrostatic micromotors 1988 4.范伟政.马炳和 微机械与微细加工技术 2000 5.Senturia S D CAD challenges for microsensors,microactuators,and Microsystems 199?(08) 6.Germer C.Hansen U.Franke H J Development of a 3D-CAD add-in for tolerance analysis and synthesis in micro systems(/spl mu/TOAST) Design,Test 2003 7.Adamec R J.Tanner P.Thiel D V CAD modeling and fabrication of planar thin film airflow sensors,Sensors,2002 2002 8.谭宜勇.赵新.卢桂章 微机械虚拟运行的实现框架[期刊论文]-微纳电子技术 2003(7) 9.孙克豪.钱劲.张立宪.余同希.赵亚溥 MEMS器件的计算机辅助设计与模拟[期刊论 文]-机械强度 2001(4) 10.孟为民.李伟华.黄庆安 MEMS的设计方法与系统模拟[期刊论文]-传感器技术 2001(10) 11.David J Kruglinski.潘爱民.王国印 Visual C¨技术内幕 2001 12.沈春龙.张友良 三维虚拟加工环境及其关键技术的研究[期刊论文]-计算机辅助 设计与图形学学报 2001(10) 13.Richard S Wright.Michael Sweet.徐波 OpenGL超级宝典 2001 14.汪成为.高文.王行仁 灵镜(虚拟现实)技术的理论、实现及应用 1996 15.沈春龙.张友良 三维虚拟加工环境及其关键技术的研究[期刊论文]-计算机辅助 设计与图形学学报 2001(10) 16.蒋玉明.薛晓滨.傅涓 实体造型中的几何模型与数据结构研究[期刊论文]-中国 机械工程 1996(6) 17.俞武嘉.李建华.傅建中.陈子辰 面向MEMS的CAD显示设计研究[期刊论文]-机电 工程 2001(5) 18.赵文广.李仲学.李翠平 面向工程可视化仿真的VC++,OpenGL与3DS集成技术[期 刊论文]-北京科技大学学报 2001(6) 19.Kim C J.Pisano A P.Muller R S Overhung electrostatic microgripper 1991 20.Trimmer W S N.Gabriel K J Design considerations for a practical electrostatic Micro-Motor 1987 21.Nemirovsky Y.Bochobza Degani O A methodology and model for the pull- in parameters of electrostatic actuators 2001(04) 22.Bochobza Degani O.Seter D J.Socher E A generalized algebraic equation for the pull-in condition in micromachined electrostatic micromirrors:modeling and characterization 2000 23.Rocha L A.Cretu E.Wolffenbuttel R F Analysis and analytical modeling of static pull-in with application to MEMS-based voltage reference and process monitoring 2004(02) 24.Cretu E.Rocha L A.Wolffenbuttel R F Micromechanical voltage reference using the pull-in of a beam,