材料分析学8讲解.pptVIP

E 0 : 入射高能电子的能量； 当电子穿过原子核库仑场时，速度降低， 动能减少，多余能量以电磁辐射形式辐射 出来。 对于大量能量 E 0 电子，受库仑场作用的大 小是随机的，有的受作用力大，速度减少 得多，辐射出能量多，反之有的少。 但，辐射出能量分布在 0 － E 0 范围，由于 是连续分布，故称为连续 X 射线。 连续 X 射线强度： I B =K 1 iZV 2 其中： K 1 常数， i 管电流， Z 靶原子序数 V 管电压 e - , E 0 Z ＋ e - 扫描 线圈 二次电子 探测 二次电子显微图像 扫描 线圈 同步扫描 发生器 能谱仪某 一能量通 道输出 K ? K ? 4.508 4.937 Ti-K L ? L ? L ? 2 4.467 4.828 5.156 Ba-L Ti:Ba 4:1 出现 BaL ? 2 重叠 § 8.3 X 射线微区分析 1 ． X 射线的本质 1895 年，德国物理学家伦琴（ W.C.R ? ntgen ）发现了 X 射线。 X 射线是一种波长非常短的电磁辐射。它的波长范围在 10 ～ 10 － 3 nm 之间。 X 射线由于产生原因不同，分为连续 X 射线和特征 X 射线。特征 X 射线是由于 原子内壳层电子跃迁所辐射出来的电磁辐射。 X 光子的能量： ） （ ） （ 有 将常数代入 A KeV E 12.4 , E hc c , h E ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2. X 射线的产生 (1) 连续 X 射线的产生 (2) 特征 X 射线 (3) 特征 X 射线的命名 由于原子某个壳层产生的空位引起的特征 X 射线辐射 , 所辐射的 X 射线 , 统 称为某系 X 射线 . 例如 , 原始空位在 K 壳层 , 无论是 L 壳层还是 M 壳层的电子跃迁 , 辐射的 X 射线 均称 K 系 X 射线 . 对于一个线系 , 又有许多条线 , 这是由于不同的外层电子跃迁 , 辐射的 X 射线 能量 ( 或波长 ) 不同的原因 . 由下标 α,β, ---- 区分 . α,β --- 线还可以分 , 在 α,β --- 后面加罗马数字来区分 , 如 K α1 等 . 前面加上元素符号即可完全表示 X 射线 . 如 CuK α1 ， CuK α2 等。 3. X 射线光谱 按色散方式不同分为波长色散谱和能量色散谱； 波长色散谱（ Wavelength Dispersive Spectroscope, WDS) 能量色散谱 ( Energy Dispersive Spectroscope, EDS) (1) 波长色散谱 利用 X 射线衍射原理 — 布拉格方程： 2d Sin ? = n ? 其中： d 是晶体的一组晶面的晶面间距， ? 是入射 X 射线与该组晶面的夹角，又称半衍射角， ? 是入射 X 射线波长， n 是衍射级数。 当入射 X 射线 ? 、 ? 与晶面间距 d 之间满足布拉格方程时，在与入射 X 射线方向成 2 ? 角方向有强衍射线，否则， X 射线被散射到各方向。 现在准备一块由晶面间距为 d 的晶体，当有一束多波长的 X 射线射入 晶体，改变 X 射线入射角（入射线与晶面间夹角），就可以将不同波长 X 射线散射到各个方向。 波长色散谱测量不同波长的特征 X 射线是分时的，即一个全谱是一个一 个波长测出来的。 对于不同波段的 X 射线，往往需要选用不同的衍射晶体。 衍射几何布置有非常严格的要求，有一个比较复杂的光路。 由于在色散不同波长 X 射线中，要让晶体核探测器运动，有较复杂的机 械装置。 能量分辨率较高。 连续背底相对来讲较低。 （ 2 ）能量色散谱 能量色散谱是将样品发射的不同能量的 X 射线（也就是不同波长的 X 射