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微电子机械系统-MEMS-第一章.pdfVIP

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  • 2020-04-28 发布于四川
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微电子机械系统-MEMS-第一章.pdf

    微电子机械系统（MEMS） MEMS 和微系统—设计与制造 MEMS Microsystems—Design and Manufacture (美) 徐泰然( Tai-Ran Hsu) 著 王晓浩，冯焱颖，熊继军 ，杨兴，蓝金辉译 周兆英，冯焱

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