Q_NSGD_QY001-2019真空蒸镀点源设备.pdf

企业标准 NSGD/QY 长沙南森光电科技有限公司企业标准 NSGD/QY001-2019 真空蒸镀点源设备 2019-07-01 发布 2019-07-01 实施 长沙南森光电科技有限公司 发布 NSGD/QY001-2019 前言 本公司根据市场需求开发研制的真空蒸镀点源设备，可以加速真空蒸镀设备蒸 发源的冷却过程，减少真空蒸镀设备冷却所需时间，有效提高真空蒸镀设备的使 用效率。 本产品作为 OLED 显示装置制备过程中的一种重要制备设备，真空蒸镀点源 设备用于在真空环境中，将材质加热蒸镀到基底上。为保证产品质量稳定性，保 持产品竞争力，开拓国内、国际市场，本公司制定出本企业标准，作为组织生产 和检验产品的依据。 本标准由长沙南森光电科技有限公司提出。 本标准起草单位：长沙南森光电科技有限公司技质部。 本标准主要起草人：周萌、赵泽龙、张杰。 真空蒸镀点源设备 1 范围 本标准规定了真空蒸镀点源设备的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、 运输、存储及订货单（合同）内容。 2 产品代号 真空蒸镀点源设备，根据蒸镀材料的不同和研了时间的不同，命名为 G2.5、G5.5、G6.0、Mg 炉等。 3 要求 3.1 外观质量 表面平整、无缺陷、无划痕、无异物。表面粗糙度Ra ≤0.8 3.2 尺寸及其允许偏差 3.2.1 真空蒸镀点源设备的直径、高度及其允许偏差应符合表1 的规定 表1 单位为毫米 直径允 产品代号 直径 高度 高度允许偏差 许偏差 G2.5 ±0.5 ±0.5 G5.5 Φ 91.4 ±0.5 289.5 ±0.5 G6.0 Φ 100 ±0.5 331 ±0.5 Mg 炉 ±0.5 ±0.5 3.3 漏率测试 3.3.1 氦漏气率 (Pa ·L/秒) ≤ 5 x 10-6 ； 3.3.2 氮气试验：7kg/㎠ 的N2 填充，充压24 小时后，压力保持6.5kg/㎠ 以上 ； 3.3.3 液压试验： 冷却水路不能出现任何泄漏。 3.4 电特性测试 3.4.1 绝缘（施加电压: 1000V；时间: 60 秒；） 上钽丝绝缘电阻 下钽丝绝缘电阻 上热电偶绝缘电阻 下热电偶绝缘电阻 ≧1 ㏁ ≧1 ㏁ ≧1 ㏁ ≧1 ㏁ 3.4.2 电阻 上钽丝电阻 下钽丝电阻 上热电偶电阻 下热电偶电阻 0.78∼0.88 2.2∼2.3 1.4∼1.5 1.4∼1.5 4 检验方法 4.1 外观质量检验方法 目测检查、粗糙度检测仪检查（触针法）； 4.2 尺寸及其允许偏差测量方法 样品用钢尺、游标卡尺、平台等进行测量； 4.3 漏率测试检验方法 4.3.1 氦质谱检漏仪进行测试；氦漏气率 (Pa ·L/秒) ≤ 5 x 10-6 ； 4.3.2 氮气试验：炉体放入密封空